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奥普光电获得实用新型专利授权:“用于晶圆检测的刚性升降台”

来源:证券之星企业动态 2023-12-20 02:04:35
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证券之星消息,根据企查查数据显示奥普光电(002338)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“用于晶圆检测的刚性升降台”,专利申请号为CN202321908823.5,授权日为2023年12月19日。

专利摘要:本实用新型涉及晶圆检测器件领域,具体提供一种用于晶圆检测的刚性升降台,晶圆托板连接在滑框的上端面上,滑台固定与基座连接,滑框套在滑台外侧,滚柱导轨安装在滑台的外棱位置,或者安装在滑框的内棱位置,丝母与丝杆啮合,并设置在滑台内,丝杆的上端固定在固定座内,丝杆的下端与基座连接,丝母的上端与顶块连接,顶块顶在晶圆托板的下表面。本实用新型采用滑框与滚柱导轨进行运动导向,保证运动过程中具有足够的刚性支撑,并提高了运动过程中的稳定性;采用滑框与滑台的配合,增强了结构强度,提高了载荷能力和抗扰动能力;并且利用滚柱导轨代替了进口的高精度直线导轨,极大降低了经济成本。

今年以来奥普光电新获得专利授权7个,较去年同期减少了68.18%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了3228.56万元,同比增83.17%。

数据来源:企查查

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