宇晶股份获得发明专利授权：“一种基于真空镀膜的晶控旋转集成控制系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示宇晶股份（002943）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种基于真空镀膜的晶控旋转集成控制系统”，专利申请号为CN202110554396.4，授权日为2023年12月15日。

专利摘要：本申请公开的基于真空镀膜的晶控旋转集成控制系统，与现有技术相比，包括：用以监控镀膜工艺设备并且收发控制信号的上位机；与上位机连接的PLC主控模块；与PLC主控模块连接的控制管理模块；连接控制管理模块的第一控制模块以及第二控制模块；与第一控制模块连接的旋转驱动执行模块、转架安装执行模块以及水冷循环执行模块；与第二控制模块连接的温度调控检测模块、气体调控检测模块以及膜厚调控检测模块；与第一控制模块以及第二控制模块通信连接的通讯会话系统；设于镀膜工艺设备上，与通讯会话系统连接的镀膜执行终端以及镀膜检测终端。相较于现有技术而言，其能够集成控制多功能传动装置以及执行终端进行镀膜作业，提高镀膜控制精度。

今年以来宇晶股份新获得专利授权4个。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1927.37万元，同比增40.94%。

数据来源：企查查

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