华海清科(688120)答投资者问
请问公司生产的CMP设备和抛光设备在10纳米及以下的制程预计多久能实现突破，目前研发到什么程度了？
尊敬的投资者您好！公司高度重视CMP产品的技术和性能升级，已推出了满足更多材质工艺和更先进制程要求的新产品，公司的CMP装备现已处于国内领先水平，已基本满足国内成熟及先进产线的需要。公司未来还将继续加大研发投入，持续推进面向更高性能、更先进节点的CMP装备开发及工艺突破。感谢您对公司的关注。
来源：e互动 答复时间：2025/2/21 17:10:37
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