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冠石科技(605588)答投资者问

请问宁波冠石引入的首批电子束掩模版光刻机是否已经交付？如已交付，请问什么时候可以生产40nm制程掩模版？如未交付，请问原因是什么？以及预计什么时候交付？

尊敬的投资者，您好！2024年7月中旬公司首台电子束掩膜版光刻机顺利交付。项目预计2025年公司实现45nm光掩膜版的量产，2028年实现28nm光掩膜版的量产。谢谢！

来源：e互动     答复时间：2024/12/6 17:34:34

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