芯碁微装(688630)答投资者问
请问贵公司是否有生产埃米级芯片设备的研发制造呢？谢谢！
尊敬的投资者您好！公司LDI设备目前量产精度在微纳技术节点，未到埃米节点，感谢关注！
来源：e互动 答复时间：2024/9/6 17:43:24
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