微导纳米(688147)答投资者问-证券之星

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微导纳米(688147)答投资者问

您好，请问公司ALD设备在FAB厂商的验证和应用情况如何，半导体领域的在手订单中有多少是ALD，有多少是CVD的

尊敬的投资者您好，公司是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积（ALD）设备应用于集成电路制造前道生产线的国产设备厂商，ALD产品既有批量型也有单片型，单片型ALD设备已获得多种工艺设备的重复订单并获得部分客户的验收；批量型ALD已取得客户验收，实现产业化应用，并取得重复订单。公司在保持ALD设备领先优势的同时，加速推广CVD产品，该系列部分产品在2023年7月首台设备出货后，目前已经取得客户批量重复订单，客户端验证顺利。感谢您的关注。

来源：e互动答复时间：2024/9/6 15:59:41

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