中信证券股份有限公司
关于中微半导体设备（上海）股份有限公司
使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的
自筹资金的核查意见
中信证券股份有限公司（以下简称“独立财务顾问”）作为中微半导体设备
（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）发行股份及支付现金购买资产并募
集配套资金的独立财务顾问（主承销商），根据《上市公司募集资金监管规则》
《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律
监管指引第 1 号——规范运作》等相关法律法规和规范性文件的规定，对使用募
集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金情况进行了核查，具
体情况如下：
一、募集资金基本情况
经中国证券监督管理委员会《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公
司发行股份购买资产并募集配套资金注册的批复》（证监许可〔2026〕1147 号）
核准，同意中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份募集配套资金不超过
公司本次募集配套资金发行人民币普通股（A 股）5,156,765 股，每股发行
价为人民币 290.88 元，募集资金总额为人民币 1,499,999,803.20 元，扣除本次发
行费用人民币 10,118,562.20 元，实际募集资金净额为人民币 1,489,881,241.00 元。
上述资金到位情况已经由普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并
出具了《验资报告》（普华永道中天验字（2026）第 0016 号）。公司已开立募
集资金专项账户，对募集资金实行专户存储，并与账户开设银行、独立财务顾问
签订了募集资金监管协议。
二、募集资金投资项目情况
根据《中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产
并募集配套资金报告书》，公司本次向不超过三十五名特定对象发行股份募集资
金总额不超过 150,000 万元，具体投入项目情况如下：
单位：万元
募集资金承诺投资 占募集配套资金比
序号 项目名称
总额 例
合计 150,000.00 100.00%
三、自筹资金预先投入募投项目情况
为了保障本次募投项目“发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金”的
顺利推进，公司在募集资金到位前，根据募投项目的实际进展情况使用自筹资金
进行了预先投入。截至 2026 年 7 月 31 日，公司以自筹资金预先投入募集资金投
资项目的实际投资额为人民币 6,004.51 万元，本次拟使用募集资金置换预先投入
金额为人民币 6,004.51 万元，具体情况如下：
单位：万元
项目名称 拟投入募集资金金额 自筹资金预先投入金额 需置换金额
支付现金对价及中
介机构费用
上述事项已经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）出具的《中微半
导体设备（上海）股份有限公司截至 2026 年 7 月 31 日止以自筹资金预先投入募
集资金投资项目及支付发行费用情况报告及鉴证报告》（普华永道中天特审字
(2026)第 0892 号）鉴证。
四、本次募集资金置换的审议程序
公司于 2026 年 8 月 19 日召开第三届董事会第十五次会议，审议通过了《关
于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的议案》，
同意公司使用共计 6,004.51 万元的募集资金置换预先已投入募集资金投资项目
及已支付发行费用的自筹资金。该事项无需通过股东会审议。
本次募集资金置换时间未超过募集资金到账后 6 个月，符合《上市公司募集
《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范
资金监管规则》
运作》等法律法规以及《公司章程》等规章制度的规定。
五、独立财务顾问核查意见
经核查，本独立财务顾问认为：公司本次使用募集资金置换预先投入的自筹
资金事项已履行了必要的审议程序，会计师事务所出具了专项鉴证报告，置换时
间距募集资金到账时间不超过 6 个月，未改变募集资金用途，不影响募集资金投
资计划的正常进行，不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形，符合
《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引
第 1 号——规范运作》等有关规定，相关决策和审议程序合法、合规。
综上所述，本独立财务顾问对公司本次使用募集资金置换预先投入募投项目
及已支付发行费用的自筹资金的事项无异议。
（以下无正文）
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