中微半导体设备（上海）股份有限公司
半年度评估报告
为践行以“投资者为本”的上市公司发展理念，维护公司全体股东利益，基
于对公司未来发展前景的信心及价值的认可，中微半导体设备（上海）股份有限
公司（以下简称“公司”）于 2026 年 3 月 30 日制定了 2026 年度提质增效重回
报行动方案，以进一步提升公司经营效率，强化市场竞争力，保障投资者权益，
树立良好的资本市场形象。公司根据行动方案内容，积极开展和落实各项工作，
现将 2026 年上半年的主要工作成果报告如下。
一、专注公司核心业务，突破创新提升竞争力，以良好的业绩成长回报投资
者
半导体微观加工设备作为数码产业的基石，是发展集成电路和数码产业的关
键，中微公司自 2004 年成立以来，一直致力于开发和提供先进的微观加工所需
的高端关键设备，是典型的新质生产力代表。凭借创新的研发团队和深厚的客户
关系，公司聚焦布局核心设备，关键技术不断突破创新，并快速扩增产品线及扩
大产品在国内领先客户的市场占有率。公司主营产品等离子体刻蚀设备和薄膜沉
积设备是除光刻机以外，非常重要的、也是市场空间广阔的关键设备。公司已开
发出 54 种高端半导体设备，包括 26 种高能和低能等离子体刻蚀机设备，24 种
各类薄膜设备、化学机械抛光设备和量检测设备。刻蚀和薄膜设备的加工的精度
已经达到了原子级水平。截至 2026 年 6 月底，公司累计已有超过 8800 个反应台
在国内外 220 余条生产线实现量产。自 2012 年至今，中微公司已连续 14 年保持
平均年销售 35%以上的增长，人均年销售额达到了 450 万元，和国际领先的设备
公司持平。
同比增长约 34.89%。公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端
产品新增付运量显著提升，在先进逻辑器件和先进存储器件中多种关键刻蚀工艺
实现大规模量产。2026 年上半年归属于母公司所有者的净利润约 28.25 亿元，较
上年同期增加约 21.19 亿元，同比增长约 300.22%。
中微公司始终站在先进制程工艺发展的最前沿，绝不抄袭和复制国外的标配
设备，一直坚持“技术的创新、产品的差异化和知识产权保护”的基本原则。公
司保持高强度研发投入，一年就同步推进六大类、二十余款新设备的开发；2026
年上半年公司研发投入约 20.41 亿元，同比增长约 36.86%，2026 年上半年研发
投入占公司营业收入比例约为 30.51%，远高于科创板上市公司的平均研发投入
水平（10%~15%）。
提升经营管理能力，实现高速、稳定、健康和安全的发展。具体包括以下方面：
公司所从事的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是集成电路前道核心设备，
公司提供的 MOCVD 设备是先进显示和功率器件生产所需的关键设备。2026 年，
公司继续聚焦集成电路及泛半导体相关领域的刻蚀和薄膜设备，根据客户及市场
需求升级迭代产品，并开发更多品类设备，进一步推进更多先进技术的研发，持
续突破关键技术，覆盖更多的刻蚀和薄膜应用，继续推进公司单台和双台刻蚀
CCP 和 ICP 刻蚀设备以及更多品类的薄膜设备，在主要客户芯片生产线上市场
占有率提升。同时，推进公司的 TSV 硅通孔刻蚀设备也越来越多地在先进封装
和 MEMS 器件生产。
公司近两年新开发的 LPCVD 设备和 ALD 设备，目前已有多款设备产品顺
利进入市场并获得重复性订单。公司开发的金属钨系列产品在全部类别的应用场
景中填充能力均达到国际先进水平，能够覆盖所有逻辑和存储相关应用，中微独
创的接触孔填充方案能够在挑战性极高的接触孔结构中获得国际领先的填充效
果。EPI 设备方面，公司的减压外延设备已在成熟制程客户端验证成功，也已付
运多家先进制程客户端，部分先进工艺已进入量产验证阶段；常压外延设备现已
完成开发，进入晶圆验证阶段。
公司另一类主打产品 MOCVD 设备，是三五族化合物半导体制造关键的核
心设备。公司开发的氮化镓基的 LED 照明和 Mini-LED 显示所用的 MOCVD 设
备已成为国内外绝大多数 LED 生产线的首选设备。公司开发的包括碳化硅功率
器件、氮化镓功率器件、Micro-LED 等器件所需的多类 MOCVD 设备也取得了
良好进展，并陆续进入市场。
此外，随着半导体工艺节点持续缩小，量检测设备需满足更高精度要求，推
动该设备市场快速增长，已成为占半导体前道设备总市场约 13%的第四大设备
门类。量检测设备主要涵盖光学量检测设备和电子束量检测设备。中微公司于
种方式扩大对多门类量检测设备的市场参与和产品覆盖。
同时，公司于报告期内完成对杭州众硅电子科技有限公司控股权的收购，完
成了对化学机械抛光（CMP）设备的覆盖，实现从“干法”向“干法+湿法”整
体解决方案的关键跨越。
持续较高水平的研发投入是公司保持核心竞争力的关键。公司面向世界先进
技术前沿，以国际先进的研发理念为依托，专注于高端微观加工设备的自主研发
和创新。公司积累了深厚的技术储备和丰富的研发经验，这一优势保证了公司产
品和服务的不断进步。
半年研发投入占公司营业收入比例约为 30.51%。公司目前在研项目涵盖六类设
备，超二十款新设备的开发。公司开发新设备的速度明显加快。过去需要三到五
年，现在只需要两年甚至更短的时间就可以开发出新的设备，并能迅速进入市场，
实现量产。
中微公司深耕知识产权文化建设，以 4 月 26 日世界知识产权日为契机，在
内部通过组织开展包括知识竞赛、优秀专利评选、圆桌论坛、大咖开讲等系列活
动，提高员工的知识产权保护意识，激发员工对科技创新的信心和热情。报告期
内，公司新增专利申请 145 项，其中发明专利 113 项。截至 2026 年 6 月 30 日，
公司已申请 3837 项专利，其中发明专利 3097 项；已获授权专利 2418 项，其中
发明专利 1925 项。
随着全球半导体设备市场持续扩大和技术的不断创新，公司发挥产品技术及
销售服务竞争优势，强化公司产品竞争力和品牌形象，深化同国内外客户的业务
合作，以更好的市场形象和更专业的服务为客户提供产品解决方案。
在全球半导体盛会 SEMICON China 2026 期间，中微公司宣布推出四款覆盖
硅基及化合物半导体关键工艺的新产品，包括新一代电感耦合 ICP 等离子体刻
蚀设备 Primo AngnovaTM、高选择性刻蚀机 Primo DomingoTM、Smart RF Match 智
能射频匹配器以及蓝绿光 Micro LED 量产 MOCVD 设备 Preciomo Udx R ，进一步
○
丰富了公司在刻蚀设备、薄膜沉积设备及核心智能零部件领域的产品组合及系统
化解决方案能力，持续夯实平台化发展的基础，助力公司在规模化拓展的进程中
实现高质量发展。
作为 SEMI、中国半导体行业协会等国内外十多家行业协会/联盟的重要成员
单位，中微公司将继续参加行业主要活动，履行社会责任，扩大公司的行业影响
力。
公司不断践行外延式发展策略，在持续聚焦集成电路关键设备领域、继续扩
展部分泛半导体关键设备领域(传感器，LED 照明，太阳能电池，功率器件，FPD
显示屏设备等)的基础上，不断探索公司核心技术在其他新兴领域和国计民生上
的发展机会。中微公司的子公司，包括聚焦环境保护节能减排设备和清洁能源的
“中微惠创”、开发中小企业营运软件系统的“中微汇链”、探索数码技术在大
健康领域应用的“芯汇康”，在 2026 年也都取得了良好的进展。公司将继续坚
持以高端半导体设备为核心，开发更多有竞争力的设备产品；同时积极考虑通过
投资和并购，推动公司更快发展。
报告期内，公司完成收购杭州众硅电子科技有限公司 64.69%的股权并募集
配套资金事项，成功实现从“干法”向“干法+湿法”整体解决方案的关键跨越。
通过本次交易，双方将形成显著的战略协同，同时标志着公司向“集团化”和“平
台化”迈出关键的一步，符合公司通过内生发展与外延并购相结合，持续拓展集
成电路覆盖领域，为客户提供更具竞争力的成套工艺解决方案的战略规划。
在高度竞争的产业形势下，公司考虑在有机成长的同时，通过投资、并购国
内外高端的半导体设备及关键零部件厂商，使公司能够覆盖更多的产品品类、占
领更多细分市场，为公司的长期高速稳定发展奠定基础。
二、优化运营管理，提高经营质量与效率
公司在营运管理中采用关键指标管理，尤其在生产管理、材料管理、客户技
术支持和设备运行表现方面设定了一系列的关键考核指标，覆盖了质量、效率、
成本和安全等众多方面。公司定期跟踪各项指标的执行情况，并根据统计结果和
客户反馈，制定出关键指标的改进要求。公司建立了高效的库存管控体系，设置
合理的库存警戒线，以加快存货周转。2026 年，公司持续在中微临港等生产基
地，推进智能工厂项目和精益管理，提升人员及营运效率，缩短设备交付周期，
并努力保持 100%订单准时交付。
公司持续进行市场拓展，继续履行客户全球化发展战略，在立足国内超大规
模市场的前提下，积极适应国际形势，加强全球市场的开拓，并着重在新产品、
新应用拓展和新领域开发，提高公司在全球半导体设备市场占有率，提高公司盈
利质量水平。
由于公司所处半导体设备行业具有资金密集性的特征，产品技术升级快，研
发投入大，并且研发投入早于应用层面。公司将合理利用资金，使得研发成果与
产品布局早于客户需求。公司将通过优化库存、加快新产品在客户端的验收、加
快回款、闲置资金理财等举措，提高资金使用效率及使用效果。
公司持续完善供应链管理体系，通过建立完善的供应链管理制度体系和管理
架构，推动供应链的高效、规范管理。2025 年，公司在全球合作供应商 800 余
家。公司科学管理供应厂商，对关键零部件供应商采取多厂商策略保障零部件及
时供应。2026 年上半年，公司继续加大供应商本土化和多元化的投入，在合作的
深度和广度上进一步加强，为降本增效和供应链安全提供更加坚实的保障。
“同芯筑梦，共攀巅峰”为主题，汇聚来自全球各地的近千位行业及供应链合作
伙伴，齐聚滴水湖畔，共赴一场围绕合作共赢、技术共研、深度协同、风险共担
与长期赋能的深度对话。
公司在营运管理中采用关键指标管理，尤其在生产管理、材料管理、客户技
术支持和设备运行表现方面设定了一系列的关键考核指标，覆盖了质量、效率、
成本和安全等众多方面。公司营运效率持续提高，设备交付按时率保持在较高水
准、物料成本控制等指标达到预期水平。2026 年上半年，公司定期跟踪各项指标
的执行情况，并根据统计结果和客户反馈进行内部讨论，制定出关键指标的改进
要求。
公司制订了与公司经营业绩与研发进展紧密相关的激励计划，激励计划的设
定有助于促进公司发展、维护股东权益，为公司长远稳健发展提供机制和人才保
障。而公司对激励计划亦设定了营业收入增长率公司层面业绩考核要求，和目标
管理（MBO）规定作为个人层面的业绩考核要求，锚定公司经营状况、成长性、
盈利能力等与投资者利益紧密相关的指标，并设定了具有一定挑战性的考核目标，
绑定管理层和员工的利益与公司发展目标达成，有助于提升公司整体发展质量，
增强投资者回报。
公司视“员工”为最宝贵的资产，致力于为员工提供广阔的职业发展空间，
构建专业线、管理线发展双通道，并设计了形式多样的职业规划，拓展人才发展
渠道。公司注重激发组织和员工活力，组织开展多项深入的专题培训、学习交流，
涵盖工程技术、战略商务、运营管理、财证金融、人工智能和人才发展六大学习
版块，有力促进培养组织需要的技能，提升组织及人员竞争力，建立学习型组织
文化氛围。公司持续优化人才绩效评估体系及人才晋升机制，使得优势资源更进
一步的向高绩效员工倾斜。公司已经通过全员持股方式，有效提高员工的忠诚度
和凝聚力。公司 2026 年上半年新入职员工 655 人，通过系统性培训等措施持续
提升员工专业能力。
三、重视提高股东回报，分享公司价值成长红利
公司高度重视股东的投资回报，努力为股东创造长期可持续的价值。公司积
极实施现金分红并开展回购，增强投资者信心，推动公司股价同公司价值增长匹
配。
现金红利 0.35 元（含税），以资本公积金向全体股东每股转增 0.49 股，共计派
发现金红利 220,094,325.85 元，转增 308,132,056 股。
四、持续完善公司治理，防范风险并提升规范运作水平
公司高度重视公司治理结构的健全和内部控制体系的有效性，将持续完善公
司治理和内部控制制度，防范外部风险，提高公司运营的规范性和决策的科学性，
保障股东权益。具体如下：
的前提下，着眼于管理创新，持续提升公司的内部控制管理体系。
公司将完善风险预警和应对机制，定期开展内部审计和风险评估，确保公司
稳健运营和合规经营。
公司根据新修订的《上市公司治理准则》《上海证券交易所科创板上市公司
自律监管指引第 1 号——规范运作》等法律法规及规范性文件，持续完善法人治
理结构，提高规范运作水平，于 2026 年 3 月 30 日修订《董事、高级管理人员薪
酬管理制度》相关制度。
公司根据《公司法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律、法规
以及《公司章程》等相关规定组织公司董高积极参与上交所、证监局等监管机构
举办的相关培训，并安排董高参加专业机构和公司内部专业人员的培训，推动公
司董高在尽职履责的同时，持续学习包括新《公司法》在内的最新法律，学习掌
握证券市场相关法律法规、熟悉证券市场知识、理解监管动态，不断强化自律和
合规意识，推动公司持续规范运作。
设备市场周期性波动态势给公司带来相应的经营风险。公司不断提升产品在
关键客户市场占有率，并拓展新的业务领域来应对相关周期性波动风险。
近年来，国际贸易摩擦不断，少数国家限制中国半导体行业发展。公司严格
遵守中国和他国法律，一直保持与相关国家政府部门的及时沟通，推动实现稳健
经营。此外，公司一贯重视自主知识产权的研发，建立了科学的研发体系及知识
产权保护体系，防范潜在的知识产权纠纷风险。
五、发展企业文化，积极践行社会责任
公司高度重视企业管理文化建设，经过多年的实践发展，形成了以“产品开
发十大原则”、“战略销售十大准则”、“营运管理十大章法”、“领导能力十
大要点”和“精神文化十大作风”为核心的企业管理文化。2026 年，公司不断强
化“五个十大”的企业文化，提升组织凝聚力和向心力，增强员工和各界对中微
公司的认同感，秉承“攀登勇者，志在巅峰”企业精神，不断攀登新的发展高峰。
六、高质量信息披露，积极传递公司投资价值
公司高度重视投资者关系管理工作，严格遵守法律法规和监管机构规定，严
格执行公司信息披露管理制度，真实、准确、完整、及时、公平地履行信息披露
义务。
资者现场调研、上证 e 互动、电话、邮件等诸多渠道，将公司经营成果、财务状
况等情况，及时、公开、透明地传达给了市场参与各方。
我们还以一图读懂、视频解读、图表、图片等形式，并在微信公众号上使用
尹志尧董事长“数字人”等新媒体传播手段，以更加便于理解、更加直观的形式，
阐述公司产品及业务、公司治理，并总结经营成果表现，将公司营运及财务表现
全面、全方位地呈现在投资者面前。
中微公司董事长兼总经理尹志尧博士与公司管理团队出席会议。本次会议受到了
市场的广泛关注，吸引了众多机构投资人、证券分析师及媒体代表等嘉宾。会议
通过上证路演、价值在线等平台开放实时直播并与广大投资者线上互动交流。
七、持续评估完善行动方案，维护公司市场形象
管理、公司治理、股东回报、投资者交流、社会责任等方面均严格按照行动方案
的具体举措执行并取得了较好的成效，对推动公司高质量发展、提升投资者的获
得感、促进公司和资本市场双向持续平稳健康发展具有重要意义。
公司将持续评估“提质增效重回报”行动方案的具体举措，及时履行信息披
露义务。公司将继续专注主业，提升公司核心竞争力、盈利能力和风险管理能力，
通过良好的业绩表现、规范的公司治理积极回报投资者，切实履行上市公司责任
和义务，回报投资者信任，维护公司良好市场形象。
本报告所涉及的公司规划、发展战略等系非既成事实的前瞻性陈述，不构成
公司对投资者的实质承诺，敬请投资者注意相关风险。
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