中微半导体设备（上海）股份有限公司
为践行以“投资者为本”的上市公司发展理念，维护公司全体股东利益，基
于对公司未来发展前景的信心及价值的认可，中微半导体设备（上海）股份有限
公司（以下简称“公司”）在总结 2025 年度行动方案的基础上制定了 2026 年度
提质增效重回报行动方案，以进一步提升公司经营效率，强化市场竞争力，保障
投资者权益，树立良好的资本市场形象。主要措施包括：
一、专注公司核心业务，突破创新提升竞争力，以良好的业绩成长回报投
资者
半导体微观加工设备作为数码产业的基石，是发展集成电路和数码产业的关
键，中微公司自 2004 年成立以来，一直致力于开发和提供先进的微观加工所需
的高端关键设备，是典型的新质生产力代表。凭借创新的研发团队和深厚的客户
关系，公司聚焦布局核心设备，关键技术不断突破创新，并快速扩增产品线及扩
大产品在国内领先客户的市场占有率。公司主营产品等离子体刻蚀设备和薄膜沉
积设备是除光刻机以外，非常重要的、也是市场空间广阔的关键设备。公司在过
去的 20 多年着力开发了一个完整系列的 20 种等离子体刻蚀设备，并积累了大量
的芯片生产线量产数据和客户验证数据。近两年新开发的沉积各种导体薄膜的
LPCVD 设备和 ALD 设备，目前已有多款设备产品顺利进入市场并获得重复性订
单。公司目前可以提供 5 纳米及更先进的芯片刻蚀设备，从 2012 年到 2025 年的
十余年中，公司销售额年均增长率超过 35%。公司 2025 年营业收入约 123.85 亿
元，较 2024 年增加约 33.19 亿元，同比增长约 36.62%。其中，2025 年刻蚀设备
销售约 98.32 亿元，同比增长约 35.12%；LPCVD 和 ALD 设备销售约 5.06 亿元，
同比增长约 224.23%。
造并提升经营管理能力，实现高速、稳定、健康和安全的发展。具体包括以下方
面：
公司所从事的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是集成电路前道核心设备，
公司提供的 MOCVD 设备是先进显示和功率器件生产所需的关键设备。2026 年，
公司将继续聚焦集成电路及泛半导体相关领域的刻蚀和薄膜设备，根据客户及市
场需求升级迭代产品，并开发更多品类设备，进一步推进更多先进技术的研发，
持续突破关键技术，覆盖更多的刻蚀和薄膜应用，继续推进公司单台和双台刻蚀
CCP 和 ICP 刻蚀设备以及更多品类的薄膜设备，在主要客户芯片生产线上市场
占有率提升。同时，推进公司的 TSV 硅通孔刻蚀设备也越来越多地在先进封装
和 MEMS 器件生产。
公司近两年新开发的 LPCVD 薄膜设备和 ALD 薄膜设备，目前已有多款新
型设备产品进入市场并获得重复性订单。其中，薄膜设备累计出货量已突破 300
个反应台，其他二十多种导体薄膜沉积设备也将陆续进入市场，能够覆盖全部类
别的先进金属应用；公司硅和锗硅外延 EPI 设备已顺利运付客户端进行量产验证，
并且获得客户高度认可。
在 MOCVD 领域，用于氮化镓基 LED 外延生产的设备已在行业领先客户生
产线上大规模投入量产，自 2017 年起已经成为氮化镓基 LED 市场份额最大的
MOCVD 设备供应商，牢牢占据行业内的领先地位。公司在 Micro-LED 和高端
显示领域的 MOCVD 设备开发上取得了良好进展，2025 年已完成行业头部
Micro-LED 外延公司的量产验证。公司正积极布局用于氮化镓基功率器件领域，
新型 MOCVD 设备目前已发往下游客户进行量产验证，为 GaN 功率器件外延设
备的国产化做好充分准备。另外，AsP 材料专用的 MOCVD 设备正在根据应用
需求定制开发中，其中，面向红光 LED 和 Mini-LED 的 AsP 材料专用设备也已
发往显示头部 IDM 公司进行量产验证，其他应用包括红光 Micro-LED、光电子
材料外延等也正在逐步推进中。
随着微观器件越做越小，量检测设备也成为了更关键的设备，为占总设备市
场约 13%的第四大设备门类。根据 QYResearch 调研数据, 2024 年全球量检测设
备市场规模为 120.8 亿美元，预计 2025-2031 年复合年增长率（CAGR）将达 4.9%，
设备板块，子公司超微公司引入多名国际顶尖的电子束量检测设备领域专家和领
军人才，均拥有 10 年以上电子束设备研发与产品商业化经验，已规划覆盖多种
量检测设备产品。
同时，公司拟通过发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金的方式购买
杭州众硅电子科技有限公司控股权实现从“干法”向“干法+湿法”整体解决方
案的关键跨越。这一整合不仅填补了上市公司在湿法设备领域的空白，更显著提
升了公司在先进制程中为客户提供系统级整体解决方案的能力。
持续较高水平的研发投入是公司保持核心竞争力的关键。公司面向世界先进
技术前沿，以国际先进的研发理念为依托，专注于高端微观加工设备的自主研发
和创新。公司积累了深厚的技术储备和丰富的研发经验，这一优势保证了公司产
品和服务的不断进步。
研发投入约 37.44 亿元，较去年增长 12.91 亿元，同比增长约 52.65%，研发投入
占公司营业收入比例约为 30.23%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平。
公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在
只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场。
公司拥有多项自主知识产权和核心技术，截至 2025 年 12 月，截至 2025 年
权专利 2,047 项，其中发明专利 1,695 项。
开拓力度，鼓励技术创新，公司计划在全球申请约 400 项专利，并持续改善量产
机台的运行时间和生产效率，进行更多的关键制程的工艺开发和验证。
随着全球半导体设备市场持续扩大和技术的不断创新，公司发挥产品技术及
销售服务竞争优势，强化公司产品竞争力和品牌形象，深化同国内外客户的业务
合作，以更好的市场形象和更专业的服务为客户提供产品解决方案。
等重量级行业展会，支持多次行业学术会议并安排技术专家参与演讲交流，分享
公司产品及技术等进展，提升公司影响力和产品的知名度。作为 SEMI、中国半
导体行业协会等国内外十多家行业协会/联盟的重要成员单位，中微公司将继续
参加业界重要活动，履行社会责任，扩大公司的行业影响力。
公司不断践行外延式发展策略，在持续聚焦集成电路关键设备领域、继续扩
展部分泛半导体关键设备领域(传感器，LED 照明，太阳能电池，功率器件，FPD
显示屏设备等)的基础上，不断探索公司核心技术在其他新兴领域和国计民生上
的发展机会。中微公司的子公司，包括聚焦环境保护节能减排设备和清洁能源的
“中微惠创”、开发中小企业营运软件系统的“中微汇链”、探索数码技术在大
健康领域应用的“芯汇康”，在 2025 年也都取得了良好的进展。公司将继续坚
持以高端半导体设备为核心，开发更多有竞争力的设备产品；同时积极考虑通过
投资和并购，推动公司更快发展。公司积极谨慎布局产业链上下游部分重点领域，
公司参与投资的标的公司在各自细分领域取得了卓有成效的进展，得到了市场认
可和用户的积极评价。公司从上市以来投资了 40 多家产业链上下游企业，实现
了良好的经济效益和战略协同效果。2025 年度，公司参与设立智微资本，并出
资 7.35 亿元认购了上海智微攀峰创业投资合伙企业（有限合伙），持股 49%，
支持智微资本继续深耕半导体产业链，与公司业务形成良好的协同效应。
在高度竞争的产业形势下，公司考虑在有机成长的同时，通过投资、并购国
内外高端的半导体设备及关键零部件厂商，使公司能够覆盖更多的产品品类、占
领更多细分市场，为公司的长期高速稳定发展奠定基础。2026 年，公司会继续
重点考虑布局半导体和泛半导体领域，以及产业链上下游有协同效应的公司。
二、优化运营管理，提高经营质量与效率
公司在营运管理中采用关键指标管理，尤其在生产管理、材料管理、客户技
术支持和设备运行表现方面设定了一系列的关键考核指标，覆盖了质量、效率、
成本和安全等众多方面。公司定期跟踪各项指标的执行情况，并根据统计结果和
客户反馈，制定出关键指标的改进要求。公司建立了高效的库存管控体系，设置
合理的库存警戒线，以加快存货周转。2026 年，公司将持续在中微临港等生产
基地，推进智能工厂项目和精益管理，提升人员及营运效率，缩短设备交付周期，
并努力保持 100%订单准时交付。
公司将持续进行市场拓展，继续履行客户全球化发展战略，在立足国内超大
规模市场的前提下，积极适应国际形势，加强全球市场的开拓，并着重在新产品、
新应用拓展和新领域开发，提高公司在全球半导体设备市场占有率，提高公司盈
利质量水平。
由于公司所处半导体设备行业具有资金密集性的特征，产品技术升级快，研
发投入大，并且研发投入早于应用层面。公司将合理利用资金，使得研发成果与
产品布局早于客户需求。公司将通过优化库存、加快新产品在客户端的验收、加
快回款、闲置资金理财等举措，提高资金使用效率及使用效果。
公司持续完善供应链管理体系，通过建立完善的供应链管理制度体系和管理
架构，推动供应链的高效、规范管理。2025 年，公司在全球合作供应商 800 余
家。公司科学管理供应厂商，对关键零部件供应商采取多厂商策略保障零部件及
时供应。2026 年，公司将继续加大供应商本土化和多元化的投入，开展培训及
技术交流，在合作的深度和广度上进一步加强，为降本增效和供应链安全提供更
加坚实的保障。
公司在营运管理中采用关键指标管理，尤其在生产管理、材料管理、客户技
术支持和设备运行表现方面设定了一系列的关键考核指标，覆盖了质量、效率、
成本和安全等众多方面。公司营运效率持续提高，设备交付按时率保持在较高水
准、物料成本控制等指标达到预期水平。2026 年，公司将定期跟踪各项指标的
执行情况，并根据统计结果和客户反馈进行内部讨论，制定出关键指标的改进要
求。
公司制订了与公司经营业绩与研发进展紧密相关的激励计划，激励计划的设
定有助于促进公司发展、维护股东权益，为公司长远稳健发展提供机制和人才保
障。而公司对激励计划亦设定了营业收入增长率公司层面业绩考核要求，和目标
管理（MBO）规定作为个人层面的业绩考核要求，锚定公司经营状况、成长性、
盈利能力等与投资者利益紧密相关的指标，并设定了具有一定挑战性的考核目标，
绑定管理层和员工的利益与公司发展目标达成，有助于提升公司整体发展质量，
增强投资者回报。
公司视“员工”为最宝贵的资产，致力于为员工提供广阔的职业发展空间，
构建专业线、管理线发展双通道，并设计了形式多样的职业规划，拓展人才发展
渠道。2025 年，根据公司最新的业务战略和人才发展规划，对中微学苑进行重
磅升级，新的中微学苑致力成为半导体设备行业人才培养的标杆，在 CEO 及由
主要领导专家组成的指导委员会的指导和支持下，通过新定义的三大功能中心：
专业培训中心、素质发展中心、校企合作中心，由运营中心团队负责具体规划、
运营、实施，对内系统化培养不同岗位及层次的人才，发展行业一流人才，对外
与不同层次院校、单位在人才培养、科研项目等方面进行合作，互惠双赢。公司
持续优化人才绩效评估体系及人才晋升机制，使得优势资源更进一步的向高绩效
员工倾斜。公司已经通过全员持股方式，有效提高员工的忠诚度和凝聚力。
门层面，岗位层面持续开展各种类型培训和项目，推进在不同层面的学习文化建
设。根据业务发展需求，制定短期、中期和长期相结合的人力资源规划及具体实
施办法，计划引进超过 600 名国内外专业人才，进行超过 8 万小时的系统性培训
等措施持续提升员工专业能力。
三、重视提高股东回报，分享公司价值成长红利
公司高度重视股东的投资回报，努力为股东创造长期可持续的价值。公司积
极实施现金分红并开展回购，增强投资者信心，推动公司股价同公司价值增长匹
配。
派发现金红利 3.00 元（含税），不进行资本公积转增股本，不送红股，合计派
发现金红利人民币 187,214,710.20 元（含税）。
业发展趋势，继续匹配好资本开支、经营性资金需求与现金分红/股份回购的关
系，持续提升股东回报水平，落实打造“长期、稳定、可持续”的股东价值回报
机制。
四、持续完善公司治理，防范风险并提升规范运作水平
公司高度重视公司治理结构的健全和内部控制体系的有效性，将持续完善公
司治理和内部控制制度，防范外部风险，提高公司运营的规范性和决策的科学性，
保障股东权益。具体方案如下：
要求的前提下，着眼于管理创新，持续提升公司的内部控制管理体系。
公司将完善风险预警和应对机制，定期开展内部审计和风险评估，确保公司
稳健运营和合规经营。
并修订<公司章程>的议案》《关于制定、修订及废止公司部分治理制度的议案》。
为进一步完善公司治理结构，结合公司实际经营情况，根据 2024 年 7 月 1 日起
实施的《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）《上市公司章程
指引（2025 年修订）》等相关法律法规、规章及其他规范性文件的规定，公司
拟不再设置监事会与监事，监事会的职权由董事会审计委员会行使，《中微半导
体设备（上海）股份有限公司监事会议事规则》相应废止，公司各项规章制度中
涉及监事会、监事的规定不再适用。同时，对《公司章程》《股东会议事规则》
《董事会议事规则》《关联交易管理制度》《对外担保管理制度》《对外投资管
理制度》《累积投票制实施细则》《独立董事工作制度》《募集资金管理制度》
等 20 余份制度进行修订。
法律法规和政策要求，持续推进公司治理制度体系建设，加强董监高等关键管理
人员相关制度培训学习，提高制度执行力，同时充分发挥独立董事作用，强化履
职保障，提高董事会决策的科学性、高效性和前瞻性。
公司将根据《公司法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律、法
规以及《公司章程》等相关规定组织公司董高积极参与上交所、证监局等监管机
构举办的相关培训，并安排董高参加专业机构和公司内部专业人员的培训，推动
公司董高在尽职履责的同时，持续学习包括新《公司法》在内的最新法律，学习
掌握证券市场相关法律法规、熟悉证券市场知识、理解监管动态，不断强化自律
和合规意识，推动公司持续规范运作。
设备市场周期性波动态势给公司带来相应的经营风险。公司不断提升产品在
关键客户市场占有率，并拓展新的业务领域来应对相关周期性波动风险。
近年来，国际贸易摩擦不断，少数国家限制中国半导体行业发展。公司严格
遵守中国和他国法律，一直保持与相关国家政府部门的及时沟通，推动实现稳健
经营。此外，公司一贯重视自主知识产权的研发，建立了科学的研发体系及知识
产权保护体系，防范潜在的知识产权纠纷风险。
五、发展企业文化，积极践行社会责任
公司高度重视企业管理文化建设，经过多年的实践发展，形成了以“产品开
发的十大原则”、“战略销售的十大准则”、“营运管理的十大章法”、“领导
能力的十大要点”和“精神文化的十大作风”为核心的企业管理文化。2026 年
公司将不断强化“五个十大”的企业文化，提升组织凝聚力和向心力，增强员工
和各界对中微公司的认同感，秉承“攀登勇者，志在巅峰”企业精神，不断攀登
新的发展高峰。
公司致力于为客户和市场提供性能优越、高生产效率和高性价比产品，促进
技术创新、引领行业发展的同时，高度重视在环境、社会及管治（ESG）等领域
的建设，董事会及其专门委员会先后审议通过《中微公司 2025 年环境、社会和
公司治理报告》。
源消耗，降低含氟化学品使用，不断提升能源使用效率，提升可再生能源使用比
例。公司在 2026 年也将继续开展关爱特困老人、支持教育发展、支持“芯肝宝
贝计划”等公益活动，并持续拓展与知名高校的交流合作，助力培养新一代行业
人才。
六、高质量信息披露，积极传递公司投资价值
公司高度重视投资者关系管理工作，严格遵守法律法规和监管机构规定，严
格执行公司信息披露管理制度，真实、准确、完整、及时、公平地履行信息披露
义务。
待投资者现场调研、上证 e 互动、电话、邮件等诸多渠道，将公司经营成果、财
务状况等情况，及时、公开、透明地传达给市场参与各方。
我们还将以一图读懂、视频解读、图表、图片等形式，并在微信公众号上使
用尹志尧董事长“数字人”等新媒体传播手段，以更加便于理解、更加直观的形
式，阐述公司产品及业务、公司治理，并总结经营成果表现，将公司营运及财务
表现全面、全方位地呈现在投资者面前。
全年组织、参加与投资者线上线下路演交流活动不少于 100 场次，让投资者全面、
及时地了解公司的经营状况、发展战略等情况，增进投资者对公司的信任与支持，
打造高效透明的沟通平台。公司将邀请投资机构、分析师及有兴趣的投资者，于
临港基地现场参观公司的生产线、办公区域，更加直观、贴近感受中微公司的创
新文化。
七、持续评估完善行动方案，维护公司市场形象
公司将持续评估“提质增效重回报”行动方案的具体举措，及时履行信息披
露义务。公司将继续专注主业，提升公司核心竞争力、盈利能力和风险管理能力，
通过良好的业绩表现、规范的公司治理积极回报投资者，切实履行上市公司责任
和义务，回报投资者信任，维护公司良好市场形象。
本报告所涉及的公司规划、发展战略等系非既成事实的前瞻性陈述，不构成
公司对投资者的实质承诺，敬请投资者注意相关风险。
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