北京德恒（合肥）律师事务所
关于
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
见证法律意见
北京德恒（合肥）律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
北京德恒（合肥）律师事务所
关于
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
见证法律意见
德合律意字 DHHF062-6 号
致：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
北京德恒（合肥）律师事务所（以下简称“本所”）接受合肥芯碁微电子装
备股份有限公司（以下简称“公司”或“芯碁微装”）的委托，本所指派钱方律
师、沙皓然律师（以下合称“本所承办律师”）列席了公司于 2025 年 8 月 29
日在安徽省合肥市高新区长宁大道 789 号 1 号楼会议室召开的 2025 年第一次临
时股东大会（以下简称“本次股东大会”），就本次股东大会召开的合法性进行
见证并出具本法律意见。
本所承办律师依据本法律意见出具日前已经发生或存在的事实和《中华人民
共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以
下简称“《证券法》”）、《上市公司股东会规则》（以下简称“《股东会规则》”）
等现行有效的法律、法规和规范性文件以及《合肥芯碁微电子装备股份有限公司
章程》（以下简称“《公司章程》”）的有关规定出具本法律意见。
为出具本法律意见，本所承办律师审查了公司本次股东大会的有关文件和资
料。本所承办律师得到公司如下保证，即其已提供了本所承办律师认为作为出具
本法律意见所必需的材料，所提供的原始材料、副本、复印件、口头证言等材料
均符合真实、准确、完整的要求，无任何隐瞒、疏漏，有关副本、复印件等材料
与原始材料一致。
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为出具本法律意见，本所承办律师查验了包括但不限于以下内容：
为出具本法律意见，本所及本所承办律师声明如下：
法》和《律师事务所证券法律业务执业规则（试行）》等规定及本法律意见出具
日以前已经发生或者存在的事实，严格履行了法定职责，遵循了勤勉尽责和诚实
信用原则，进行了充分的核查验证，保证本法律意见所认定的事实真实、准确、
完整，所发表的结论性意见合法、准确，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大
遗漏，并承担相应法律责任。如因本法律意见存在虚假记载、误导性陈述或者重
大遗漏，并因此给投资者造成直接损失的，本所将依法赔偿投资者直接经济损失，
但本所能够证明自己没有过错的除外。
华人民共和国（仅为本法律意见之目的，不包括香港特别行政区、澳门特别行政
区及台湾地区）现行法律、法规、中国证监会及上海证券交易所（以下简称“上
交所”）的有关规定发表法律意见。
面同意，不得用于其他任何目的。
件随同其它文件一并公告。
出席会议人员及召集人资格、会议表决程序及表决结果是否符合《公司法》《股
东会规则》等法律、法规、规范性文件及《公司章程》的有关规定发表意见，不
对本次股东大会议案的内容以及这些议案中所表述的事实或数据的真实性及准
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确性等问题发表意见。
本所承办律师根据《证券法》《股东会规则》《律师事务所从事证券法律业
务管理办法》《律师事务所证券法律业务执业规则（试行）》《公司章程》的要
求，按照律师行业公认的业务标准、道德规范和勤勉尽职精神，对公司所提供的
相关文件和有关事实进行核查和验证的基础上，现出具如下法律意见：
一、关于本次股东大会的召集与召开程序
本所承办律师采取了包括但不限于如下核查方法：1．登录上交所网站
（www.sse.com.cn）查询本次股东大会相关公告；2．现场见证公司本次股东大
会会议召开情况；3．查阅公司第二届董事会第二十一次会议决议等。
在审慎核查的基础上，本所承办律师出具如下法律意见：
经本所承办律师核查，公司第二届董事会第二十一次会议于 2025 年 8 月 13
日作出决议，同意召开本次股东大会，公司于 2025 年 8 月 14 日公告了《关于召
开 2025 年第一次临时股东大会的通知》（以下简称为“《通知》”）。公司董
事会已就本次股东大会的召开作出决议，并于本次股东大会召开前 15 日以公告
形式通知各股东。《通知》载明了本次股东大会的召开时间、召开地点、会议审
议事项、会议出席对象和会议登记方法等，说明了有权出席会议股东的股权登记
日及其可委托代理人出席会议并参加表决的权利。
本次股东大会采取现场表决与网络投票的方式。现场会议于 2025 年 8 月 29
日在安徽省合肥市高新区长宁大道 789 号 1 号楼会议室召开；网络投票中，通过
上海证券交易所网络投票系统投票平台的投票时间为 2025 年 8 月 29 日上午
本次股东大会由公司董事长程卓主持，会议召开的时间、地点、审议议案及
其他事项与《通知》披露一致。
本所承办律师认为，本次股东大会的召集和召开程序符合相关法律、法规和
《公司章程》的规定。
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二、关于出席本次股东大会人员及会议召集人资格
本所承办律师采取了包括但不限于如下核查方法：1．查验自然人股东的身
份证、授权委托书、股票账户卡等；2．查验法人股东的营业执照复印件、法人
代表证明或法定代表人授权委托书、股票账户卡、出席人身份证等；3．查验中
国登记结算有限公司上海分公司提供的股东名册；4．登录上交所网站
（www.sse.com.cn）查询有关本次股东大会的公告；5．查验本次股东大会的签
到表；6．现场见证本次股东大会等。
根据本次股东大会网络投票统计表以及出席本次现场会议的股东统计结果，
出席本次股东大会的股东及股东代理人共计 71 人，代表公司有表决权股份数为
（1）出席现场会议的股东及股东代理人
本所承办律师依据中国证券登记结算有限公司上海分公司提供的股东名册，
对出席会议的自然人股东的身份证、授权委托书、股票账户卡，法人股东的营业
执照复印件、法人代表证明或法定代表人授权委托书、股票账户卡、出席人身份
证等进行了查验，出席本次股东大会现场会议的股东及股东代理人共计 7 人，代
表公司有表决权股份数为 49,584,990 股，占公司股份总数的 37.6383%。
经本所承办律师核查，上述股东、股东代理人均持有出席会议的合法证明，
其出席会议的资格均合法有效。
（2）参加网络投票的股东
根据上证所信息网络有限公司提供的数据，本次股东大会通过网络投票系统
进行有效表决的股东共计 64 人，代表公司有表决权股份数为 12,980,854 股，占
公司股份总数的 9.8533%。
（3）参加本次股东大会持股 5%以下股东
通过现场和网络参加本次股东大会的除公司董事、监事、高级管理人员以及
单独或合计持有公司 5%以上股份股东以外的股东（以下简称“中小投资者”）
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共计 68 人，代表有表决权股份 15,228,354 股，占公司股份总数的 11.5593%。
公司董事、监事及董事会秘书出席了本次股东大会，其他高级管理人员列席
了本次股东大会，本所承办律师现场列席了本次股东大会。
综上，本所承办律师认为，本次股东大会出席人员的资格符合相关法律、法
规和《公司章程》的规定；本次股东大会的召集人为公司董事会，符合相关法律、
法规和《公司章程》的规定。
三、本次股东大会的表决程序以及表决结果
本所承办律师采取了包括但不限于如下核查方法：1．查验公司本次股东大
会会议资料；2．监督股东大会会议现场投票、计票；3．查验股东所填写的表决
票；4．查验本次股东大会审议议案的表决情况汇总表及网络投票结果等。
在审慎核查的基础上，本所承办律师出具如下法律意见：
本次股东大会采取现场投票与网络投票相结合的方式进行表决，就《通知》
中列明的需要投票表决的议案进行了审议，其中现场会议以记名投票方式进行了
表决，且进行了计票、监票，并在会议现场宣布表决结果。
本次股东大会审议通过的议案及表决结果如下：
同意 62,553,717 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9806%；反对 4,801 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0076%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0118%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,227 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9203%；反对 4,801 股，占出席会议中小投资者
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及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0315%；弃权 7,326 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,469,843 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.8465%；反对 88,675 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份数的 0.1417%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份总数的 0.0118%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,132,353 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.3695%；反对 88,675 股，占出席会议中小投资
者及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.5823%；弃权 7,326 股，占出席
会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,469,843 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.8465%；反对 88,675 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份数的 0.1417%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份总数的 0.0118%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,132,353 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.3695%；反对 88,675 股，占出席会议中小投资
者及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.5823%；弃权 7,326 股，占出席
会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
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该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,469,843 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.8465%；反对 88,675 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份数的 0.1417%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份总数的 0.0118%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,132,353 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.3695%；反对 88,675 股，占出席会议中小投资
者及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.5823%；弃权 7,326 股，占出席
会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,469,843 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.8465%；反对 88,675 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份数的 0.1417%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份总数的 0.0118%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,132,353 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.3695%；反对 88,675 股，占出席会议中小投资
者及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.5823%；弃权 7,326 股，占出席
会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
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同意 62,469,843 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.8465%；反对 88,675 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份数的 0.1417%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份总数的 0.0118%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,132,353 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.3695%；反对 88,675 股，占出席会议中小投资
者及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.5823%；弃权 7,326 股，占出席
会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,469,843 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.8465%；反对 88,675 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份数的 0.1417%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份总数的 0.0118%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,132,353 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.3695%；反对 88,675 股，占出席会议中小投资
者及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.5823%；弃权 7,326 股，占出席
会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,469,843 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
北京德恒（合肥）律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
（含网络投票）的 99.8465%；反对 88,675 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份数的 0.1417%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份总数的 0.0118%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,132,353 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.3695%；反对 88,675 股，占出席会议中小投资
者及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.5823%；弃权 7,326 股，占出席
会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,469,843 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.8465%；反对 88,675 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份数的 0.1417%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份总数的 0.0118%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,132,353 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.3695%；反对 88,675 股，占出席会议中小投资
者及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.5823%；弃权 7,326 股，占出席
会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,469,043 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.8452%；反对 88,675 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份数的 0.1417%；弃权 8,126 股，占出席会议股东及股东代理人持
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有效表决权股份总数的 0.0131%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,131,553 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.3643%；反对 88,675 股，占出席会议中小投资
者及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.5823%；弃权 8,126 股，占出席
会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0534%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,469,043 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.8452%；反对 88,675 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份数的 0.1417%；弃权 8,126 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份总数的 0.0131%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,131,553 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.3643%；反对 88,675 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份数的 0.5823%；弃权 8,126 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份总数的 0.0534%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,469,043 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.8452%；反对 88,675 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份数的 0.1417%；弃权 8,126 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份总数的 0.0131%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
北京德恒（合肥）律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
同意 15,131,553 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.3643%；反对 88,675 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份数的 0.5823%；弃权 8,126 股，占出席会议股东及股东代理人持
有效表决权股份总数的 0.0534%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,554,017 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9810%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0119%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,527 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9223%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,326 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,554,017 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9810%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0119%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,527 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
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权股份总数（含网络投票）的 99.9223%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,326 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,554,017 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9810%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0119%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,527 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9223%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,326 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,554,017 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9810%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0119%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,527 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9223%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,326 股，占出席会
北京德恒（合肥）律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,554,017 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9810%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0119%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,527 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9223%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,326 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,554,017 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9810%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0119%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,527 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9223%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,326 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
北京德恒（合肥）律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,554,017 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9810%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0119%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,527 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9223%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,326 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,554,017 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9810%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0119%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,527 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9223%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,326 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
北京德恒（合肥）律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
同意 62,554,017 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9810%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0119%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,527 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9223%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,326 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,554,017 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9810%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0119%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,527 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9223%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,326 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,554,017 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9810%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
北京德恒（合肥）律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0119%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,527 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9223%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,326 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,554,017 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9810%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0119%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,527 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9223%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,326 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,554,017 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9810%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,326 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0119%。
北京德恒（合肥）律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,527 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9223%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,326 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0482%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
的议案》
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
北京德恒（合肥）律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
方案的议案》
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
的议案》
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
北京德恒（合肥）律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
北京德恒（合肥）律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
该议案为特别决议议案，已获得出席本次股东大会的股东所持有效表决权股
份总数的三分之二以上通过。
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
北京德恒（合肥）律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
北京德恒（合肥）律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
北京德恒（合肥）律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
北京德恒（合肥）律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
北京德恒（合肥）律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
同意 62,553,617 股，占出席会议股东及股东代理人持有效表决权股份总数
（含网络投票）的 99.9804%；反对 4,501 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份数的 0.0071%；弃权 7,726 股，占出席会议股东及股东代理人持有
效表决权股份总数的 0.0125%。
其中，出席会议的中小投资者表决情况：
同意 15,216,127 股，占出席会议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决
权股份总数（含网络投票）的 99.9197%；反对 4,501 股，占出席会议中小投资者
及中小投资者代理人持有效表决权股份数的 0.0295%；弃权 7,726 股，占出席会
北京德恒（合肥）律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
议中小投资者及中小投资者代理人持有效表决权股份总数的 0.0508%。
案》
本议案采取累积投票制逐项表决，具体表决情况及结果如下：
表决结果：获得的同意票为 62,481,291 票，其中，出席会议的中小投资者的
表决情况为：15,143,801 票同意。
表决结果：获得的同意票为 62,481,789 票，其中，出席会议的中小投资者的
表决情况为：15,144,299 票同意。
表决结果：获得的同意票为 62,481,805 票，其中，出席会议的中小投资者的
表决情况为：15,144,315 票同意。
表决结果：获得的同意票为 62,481,290 票，其中，出席会议的中小投资者的
表决情况为：15,143,800 票同意。
表决结果：获得的同意票为 62,481,790 票，其中，出席会议的中小投资者的
表决情况为：15,144,300 票同意。
案》
本议案采取累积投票制逐项表决，具体表决情况及结果如下：
表决结果：获得的同意票为 62,481,790 票，其中，出席会议的中小投资者的
北京德恒（合肥）律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
表决情况为：15,144,300 票同意。
表决结果：获得的同意票为 62,481,788 票，其中，出席会议的中小投资者的
表决情况为：15,144,298 票同意。
表决结果：获得的同意票为 62,481,793 票，其中，出席会议的中小投资者的
表决情况为：15,144,303 票同意。
四、本次股东大会未对《通知》中未列明的事项作出决议
本所承办律师核查了包括但不限于如下文件：1．查验了本次股东大会的《通
知》、会议决议；2．本所承办律师现场见证本次股东大会等。
在审慎核查的基础上，本所承办律师出具如下法律意见：
经本所承办律师核查，本次股东大会未对《通知》中未列明的事项作出决议。
五、结论意见
综上所述，本所承办律师认为，公司本次股东大会的召集和召开程序、出席
股东大会人员的资格、召集人资格、本次股东大会的表决程序及表决结果均符合
相关法律、法规和《公司章程》的相关规定，本次股东大会未对《通知》中未列
明的事项作出决议，本次股东大会所通过的决议合法、有效。
本法律意见正本一式叁份，经本所负责人及承办律师签字并经本所盖章后生
效。
（以下无正文）
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