光刻机国产化亟待加速，概念股集体异动

近日，光刻机概念持续攀升，金力泰涨超15%，蓝英装备涨超13%，福晶科技、华特气体、容大感光等涨幅居前。

天风证券研报显示，光刻机是制造芯片的核心装备，制造难度极大，国产光刻机仍较为落后。目前高端光刻机制造领域，全球只有少数几家公司能掌握，那就是荷兰的ASML，日本的尼康和佳能。中低端领域，国产光刻机龙头上海微电子(SMEE)能够触及。目前，上海微电子已经能实现90nm量产(600系列光刻机)，正在攻克28nm光刻机，与ASML的技术实力仍有较大差距，国产光刻机亟待突破。

在光刻机国产化道路上，零部件也是不可忽视的重要环节。在光刻机零部件中，KBBF晶体主要用来制造深紫外激光器，而光刻机就是深紫外激光器的高端应用市场。2013年，我国研制的全球首个深紫外固态激光器通过验收，成为当时全球唯一能够制造实用化深紫外全固态激光器的国家，为国产DUV光刻机行业发展奠定坚实基础。而光学透镜则是保证光刻机高成像质量的关键组件，我国的茂莱光学的DUV光学透镜已经在给上海微电子供货，助力我国半导体光刻机国产化。

建议关注：

1)半导体零部件：正帆科技(天风机械团队联合覆盖)/江丰电子/茂莱光学/新莱应材(天风机械团队覆盖)/华亚智能/神工股份/英杰电气/富创精密/明志科技/汉钟精机(天风机械团队覆盖)/国机精工(天风机械团队覆盖)；

2)半导体材料设备：雅克科技/沪硅产业/华峰测控(天风机械团队覆盖)/上海新阳/中微公司/精测电子(天风机械团队联合覆盖)/长川科技(天风机械团队覆盖)/鼎龙股份(天风化工团队联合覆盖)/安集科技/拓荆科技(天风机械团队联合覆盖)/盛美上海/多氟多/中巨芯/清溢光电/有研新材/华特气体/南大光电/金宏气体(天风化工团队覆盖)/凯美特气/杭氧股份(天风机械团队覆盖)/和远气体/华懋科技；

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4)IDM：闻泰科技/三安光电/时代电气/士兰微/扬杰科技；

5)代工封测：华虹半导体/中芯国际/长电科技/通富微电；