南大光电大涨超10% 自研ArF光刻胶产品通过客户认证

（原标题：南大光电大涨超10% 自研ArF光刻胶产品通过客户认证）

南大光电(300346)18日高开高走，盘中大幅拉升，涨幅一度超14%。截至发稿，该股涨逾11%，成交近14亿元，换手率超10%。

南大光电117日晚间公告称，公司控股子公司宁波南大光电材料有限公司(下称“宁波南大光电”)自主研发的ArF光刻胶产品近日成功通过客户的使用认证。

认证评估报告显示，本次认证选择客户50nm闪存产品中的控制栅进行验证，宁波南大光电的ArF光刻胶产品各项性能满足工艺规格要求，良率结果达标。

南大光电表示，“ArF光刻胶产品开发和产业化”是宁波南大光电承接国家“02专项”的一个重点攻关项目。本次产品认证的通过，标志着“ArF光刻胶产品开发和产业化”项目取得了关键性的突破，成为国内通过产品验证的第一只国产ArF光刻胶，为全面完成项目目标奠定了坚实的基础。

根据公司此前披露的项目可行性研究报告，南大光电此次实现突破的为193nm 的ArF光刻胶。这种光刻胶可以用于生产28nm到7nm的制程工艺，目前广泛应用于高端芯片制造，如逻辑芯片、AI芯片、5G芯片、大容量存储器和云计算芯片等，被称为半导体工业的“血液”。

按照此前计划，公司将达到年产25吨193nm(ArF干式和浸没式)光刻胶产品的生产规模，以满足集成电路行业的需求。

资料显示，南大光电主要从事高纯电子材料研发、生产和销售，通过承担国家重大技术攻关项目并实现产业化。目前，公司形成MO源、电子特气、光刻胶及配套材料以及ALD/CVD前驱体材料等业务板块。