华海清科获得发明专利授权：“一种晶圆后处理装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆后处理装置”，专利申请号为CN202310526495.0，授权日为2026年11月6日。

专利摘要：本发明提供了一种晶圆后处理装置，包括：箱体；夹持部，设置于所述箱体中，用于竖直限定晶圆的位置；驱动部，其与所述夹持部传动连接，以带动所述夹持部旋转；清洗部，其在晶圆一侧的竖直面内呈扇形摆动，并向晶圆表面喷射漂洗液和/或干燥气体；旋转挡圈，沿晶圆的外周设置以包围晶圆，所述旋转挡圈与晶圆同步旋转；固定挡圈，沿所述旋转挡圈的外周设置。本发明中，旋转挡圈与晶圆同向旋转，液滴接触到旋转挡圈内壁后，更易沿着内壁向后排走而不产生溅射；旋转挡圈外侧增加固定挡圈，可以有效阻挡旋转挡圈排液口甩出的液体，使液体沿着固定挡圈内壁流落从固定挡圈排液口排走；此结构可有效改善液滴反溅造成晶圆二次污染。

今年以来华海清科新获得专利授权99个，较去年同期增加了22.22%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.75亿元，同比增12.59%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目337次；财产线索方面有商标信息93条，专利信息896条，著作权信息39条；此外企业还拥有行政许可38个。

数据来源：企查查

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