证券之星消息,至纯科技(603690)9月24日在投资者互动平台上对HBM存储相关话题对投资者做了答复。至纯科技回应,公司半导体湿法设备可用于HBM芯片生产制造。公司半导体湿法设备聚焦晶圆制造的前道工艺,主要应用于扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等关键工序段前后,能够覆盖晶圆制造中包括逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域的市场需求,在28纳米节点设备开发已经全部完成,且全工艺机台均有订单,在更先进制程节点也已取得部分工艺订单。
原文如下:
题材释义:HBM存储是通过3D堆叠DRAM芯片并采用硅通孔技术实现超高带宽与低功耗的高端存储方案,是AI算力芯片不可或缺的核心配套。
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