证券之星消息，9月22日，半导体设备ETF易方达基金（159558）跌1.14%，成交额14.66亿元。当日份额增加了2.19亿份，最新份额为187.62亿份，近20个交易日份额减少5.52亿份。当日资金净流出4005.65万元（资金流向是当日计算的资产净值和上一交易日计算的资产净值相减得出的），最新资产净值计算值为210.32亿元。半导体设备ETF易方达基金跟踪标的为中证半导体材料设备主题指数，成立（2024-06-06）以来超额回报为-13.27%，近一个月超额回报为0.06%，管理人为易方达基金公司，基金经理为李栩。
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