证券之星消息，9月22日，半导体设备ETF华夏基金（562590）跌1.37%，成交额4.87亿元。当日份额增加了1.62亿份，最新份额为88.07亿份，近20个交易日份额减少3.87亿份。当日资金净流入4332.51万元（资金流向是当日计算的资产净值和上一交易日计算的资产净值相减得出的），最新资产净值计算值为88.88亿元。半导体设备ETF华夏基金跟踪标的为中证半导体材料设备主题指数，成立（2023-10-09）以来超额回报为-1.14%，近一个月超额回报为-0.03%，管理人为华夏基金公司，基金经理为单宽之。
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