中科飞测获得发明专利授权：“大尺寸晶圆形貌测量装置”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“大尺寸晶圆形貌测量装置”，专利申请号为CN202411997566.6，授权日为2026年9月8日。

专利摘要：本申请提供的大尺寸晶圆形貌测量装置，光源出射的平行光束经分束后形成参考光和测试光，参考光经参考反射镜反射后进入合束镜，测试光经被测晶圆一侧的表面反射后进入合束镜，合束镜对入射的参考光和测试光进行合束后再汇聚到探测器以生成干涉条纹图像，控制单元通过控制所述被测晶圆和/或参考反射镜的移动以改变被测晶圆与参考反射镜间的光程差，以确定晶圆表面形貌，提高大翘曲片的测试产率和精度。

今年以来中科飞测新获得专利授权64个，较去年同期增加了23.08%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.81亿元，同比增33.55%。

通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目398次；财产线索方面有商标信息383条，专利信息1141条，著作权信息45条；此外企业还拥有行政许可45个。

数据来源：天眼查APP

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