拓荆科技获得发明专利授权：“真空吸附系统及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“真空吸附系统及方法”，专利申请号为CN202111579411.7，授权日为2026年9月8日。

专利摘要：本申请涉及一种真空吸附系统及方法。该真空吸附系统用于吸附及释放位于反应腔室内的、真空吸附式加热器的承载表面上的晶圆，反应腔室具有抽气口，真空吸附式加热器具有通气口。该真空吸附系统包括：第一管路，其用于将反应腔室的抽气口与真空泵流体耦合；第二管路，其用于将真空吸附式加热器的通气口与真空泵流体耦合；及第三管路，其连接至第二管路且用于将来自气体源的气体供应到该真空吸附系统。利用该真空吸附系统吸附晶圆时，在吸附及释放晶圆的过程中，均可方便地调节加热器内部的吸附管路中的气压，从而调节晶圆背面与正面的压力差，有利于提高作业效率。

今年以来拓荆科技新获得专利授权22个，较去年同期减少了42.11%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.44亿元，同比增14.29%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目109次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息732条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可40个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，不构成投资建议。