中科飞测获得发明专利授权：“一种检测系统及其自动调焦方法、存储介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种检测系统及其自动调焦方法、存储介质”，专利申请号为CN202610541586.5，授权日为2026年9月8日。

专利摘要：本申请提供一种检测系统及其自动调焦方法、存储介质，该系统包括光源组件、光学组件、成像组件和处理器，其中待测物体表面预设有用于焦面定位的特征结构；处理器被配置为粗调成像组件与待测物体的相对位置，并在多个位置采集干涉图像，根据所采集的干涉图像确定初始焦面位置；而后在初始焦面位置附近多次改变成像组件与待测物体的相对位置并在对应位置分别采集干涉图像，利用特征结构对应的相位信息构建锐利度指标，比较各位置的指标值精确定位最佳焦面位置。本申请将调焦依据从传统的图像强度分析提升至相位域分析，利用相位对离焦的高度敏感性，在无需增加硬件的前提下实现了纳米级精度的自动调焦，为高精度半导体检测提供了可靠的焦面保障。

今年以来中科飞测新获得专利授权64个，较去年同期增加了23.08%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.81亿元，同比增33.55%。

通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目398次；财产线索方面有商标信息383条，专利信息1141条，著作权信息45条；此外企业还拥有行政许可45个。

数据来源：天眼查APP

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