微导纳米获得发明专利授权：“一种薄膜沉积设备及沉积方法”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种薄膜沉积设备及沉积方法”，专利申请号为CN202410977147.X，授权日为2026年6月12日。

专利摘要：本发明公开了一种薄膜沉积设备及沉积方法，涉及半导体技术领域。该薄膜沉积设备包括ALD主体、铪源过滤器及铪源管路，铪源过滤器的两端与ALD主体及铪源管路分别连接；ALD主体具有沉积腔室，铪源管路通过铪源过滤器与沉积腔室连通，铪源管路用于将四氯化铪气体通入沉积腔室，铪源过滤器用于过滤四氯化铪气体中的四氯化铪颗粒。本发明提供的薄膜沉积设备能够显著提升二氧化铪薄膜的沉积品质。

今年以来微导纳米新获得专利授权39个，较去年同期增加了8.33%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.65亿元，同比减0.64%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目59次；财产线索方面有商标信息140条，专利信息657条，著作权信息21条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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