新宙邦获得发明专利授权：“一种用于氧化硅层的BOE蚀刻液”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示新宙邦（300037）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于氧化硅层的BOE蚀刻液”，专利申请号为CN202211008691.0，授权日为2026年6月12日。

专利摘要：为克服现有技术中氧化硅层斜面的蚀刻速率存在差异，产生二段角，不利于金属粒子在其表面沉积的问题，本申请提供一种用于氧化硅层的BOE蚀刻液，所述蚀刻液包括氟化氢、氟化铵、含氟羧酸化合物、阳离子表面活性剂和水，所述含氟羧酸化合物的质量百分含量为0.05％～0.30％，所述阳离子表面活性剂的质量百分含量为0.005％～0.050％；本申请提供的用于氧化硅层的BOE蚀刻液，阳离子表面活性剂和含氟羧酸化合物相互协同，能够较好的降低氧化硅斜面底部和顶部的速率差异，实现对氧化硅层的蚀刻性能，具有蚀刻轮廓好、无残留的效果。

今年以来新宙邦新获得专利授权23个，较去年同期增加了35.29%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了5.02亿元，同比增27.75%。

通过天眼查大数据分析，深圳新宙邦科技股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目38次；财产线索方面有商标信息347条，专利信息602条；此外企业还拥有行政许可74个。

数据来源：天眼查APP

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