中微公司获得发明专利授权：“一种基片位置检测装置及其系统和方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种基片位置检测装置及其系统和方法”，专利申请号为CN202110919012.4，授权日为2026年6月12日。

专利摘要：本发明公开了一种基片位置检测装置及其系统和方法，该装置包含：载体盘，其通过传送机构放置在反应腔内的静电夹盘的上表面，所述载体盘在传送机构上的放置位置与基片在传送机构上的放置位置具有对应关系；设置在所述载体盘底面的多个电容组件，所述电容组件的电容值取决于所述电容组件和所述凹陷部之间的相对位置；运算单元，其通过多个所述电容组件的电容值计算所述载体盘与所述静电夹盘上表面的相对位置，以得出所述基片与静电夹盘上表面的相对位置。其优点是：该装置将载体盘、电容组件和运算单元等相结合，利用静电夹盘现有的凹陷部实现了基片和静电夹盘之间对中性的检测，无需额外对腔体内构件进行加工，减小了加工难度。

今年以来中微公司新获得专利授权78个，较去年同期增加了5.41%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目84次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1700条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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