微导纳米获得发明专利授权：“原子层沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“原子层沉积设备”，专利申请号为CN202310847384.X，授权日为2026年6月12日。

专利摘要：本申请公开了原子层沉积设备。原子层沉积设备包括负压泵和至少两个工艺腔体。负压泵通过气流管路与每个工艺腔体连通。气流管路包括冷却管路和气流支路，每个工艺腔体对应设置有一气流支路，冷却管路通过气流支路与至少两个工艺腔体一一连通。冷却管路包括并联连接的第一冷却管路和第二冷却管路，第一冷却管路设置有第一阀门，第二冷却管路设置有第二阀门，第一冷却管路和第二冷却管路的至少其中一者串联设置有冷阱。通过上述方式，本申请能够减少原子层沉积设备中粉尘的产生，减少管路堵塞和设备损伤，提高设备稼动率。

今年以来微导纳米新获得专利授权39个，较去年同期增加了8.33%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.65亿元，同比减0.64%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目59次；财产线索方面有商标信息140条，专利信息657条，著作权信息21条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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