证券之星消息，5月21日，半导体设备ETF广发基金（560780）跌5.2%，成交额8.93亿元。当日份额增加了1.17亿份，最新份额为18.39亿份，近20个交易日份额增加800万份。当日资金净流入6283.74万元（资金流向是当日计算的资产净值和上一交易日计算的资产净值相减得出的），最新资产净值计算值为51.48亿元。半导体设备ETF广发基金跟踪标的为中证半导体材料设备主题指数，成立（2023-12-01）以来超额回报为15.35%，近一个月超额回报为0%，管理人为广发基金公司，基金经理为吕鑫。
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