证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体器件及其制备方法”,专利申请号为CN202511699262.6,授权日为2026年2月3日。
专利摘要:本发明提供一种半导体器件及其制备方法,制备方法包括以下步骤:提供衬底,衬底包括第一区和第二区,在第一区和第二区的衬底上均形成有栅极结构,在衬底上依次形成应力层、多晶硅层和图形化的光刻胶层,图形化的光刻胶层暴露出所述第二区;以图形化的光刻胶层为掩模,执行第一次离子注入工艺,以形成NOMS源漏结构并在多晶硅层中掺硼;去除光刻胶层,并在无掩模的状况下去除第一区的多晶硅层和应力层;在无掩模的状况下执行第二次离子注入工艺,以在第一区的栅极结构两侧形成POMS源漏结构;去除第二区的多晶硅层并执行SMT工艺。本发明仅需一张掩模板及一次独立的光刻工艺步骤,降低了工艺的复杂度和时间成本,也大大降低了整体的制造成本。
今年以来晶合集成新获得专利授权47个,较去年同期增加了291.67%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了6.95亿元,同比增13.13%。
通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目636次;财产线索方面有商标信息75条,专利信息1599条,著作权信息9条;此外企业还拥有行政许可22个。
数据来源:天眼查APP
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