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晶合集成获得发明专利授权:“多晶圆堆叠结构的处理方法”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“多晶圆堆叠结构的处理方法”,专利申请号为CN202511599123.6,授权日为2026年2月3日。

专利摘要:本公开提供了一种多晶圆堆叠结构的处理方法,涉及半导体技术领域,包括:将第一晶圆键合在第二晶圆上以形成堆叠结构;将第一晶圆中的外延层减薄至第一预设厚度;对堆叠结构进行修边,使得堆叠结构的侧壁暴露出至少部分内部结构;在堆叠结构上形成包裹层,包裹层覆盖减薄后的外延层的表面,且包裹层覆盖堆叠结构的侧壁,以包覆侧壁上暴露的结构;以及采用研磨工艺去除外延层的表面上的包裹层。该方法增大了包裹层对裸露金属层覆盖的稳定性,改善了金属裸露和污染的问题。

今年以来晶合集成新获得专利授权47个,较去年同期增加了291.67%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了6.95亿元,同比增13.13%。

通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目636次;财产线索方面有商标信息75条,专利信息1599条,著作权信息9条;此外企业还拥有行政许可22个。

数据来源:天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。

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