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赛伍技术获得实用新型专利授权:“一种晶圆背面研磨用层叠膜”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示赛伍技术(603212)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种晶圆背面研磨用层叠膜”,专利申请号为CN202423241940.8,授权日为2026年1月27日。

专利摘要:本实用新型涉及一种晶圆背面研磨用层叠膜,属于半导体技术领域。本实用新型的晶圆背面研磨用层叠膜包括依次设置的离型层、紫外光固化减粘层、第一缓冲层、第一基材层、第二缓冲层、第二基材层和第三缓冲层;第一缓冲层、第二缓冲层和第三缓冲层的材料均不相同。采用多层复合结构,实现对bump凸块的包埋与晶圆表面的保护。尤其是通过第一缓冲层、第二缓冲层和第三缓冲层复配,显著提高层叠膜的弹性,实现对凸起的包埋。通过紫外光固化减粘层的设计,实现了晶圆表面无污染。通过双基材层设计使层叠膜更柔韧,更具有贴服性,且对bump凸块更好的包埋性。该晶圆背面研磨用层叠膜在使用过程中,实现晶圆表面无残留、研磨后晶圆翘曲小、研磨过程不渗水。

今年以来赛伍技术新获得专利授权1个。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了4766.18万元,同比减24.04%。

通过天眼查大数据分析,苏州赛伍应用技术股份有限公司共对外投资了16家企业,参与招投标项目43次;财产线索方面有商标信息77条,专利信息525条;此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源:天眼查APP

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