至纯科技获得发明专利授权：“一种晶圆翻转进出装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆翻转进出装置”，专利申请号为CN202411669824.8，授权日为2025年10月3日。

专利摘要：本发明涉及一种晶圆翻转进出装置，包括分别用于进料和出料的两个晶圆夹持翻转机构，所述晶圆夹持翻转机构包括：翻转架和用于驱动所述翻转架180度上下翻转的驱动单元、设置在所述翻转架上的两个晶圆托举单元、设置在所述翻转架上的晶圆夹持单元、用于在翻转前使第一托举面与夹持口对齐或者在翻转后使第二托举面与夹持口对齐的升降驱动模组，其能够对待清洗的晶圆和清洗后的晶圆分别进行翻转，从而满足晶圆背洗工艺的需求。

今年以来至纯科技新获得专利授权43个，较去年同期增加了126.32%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.18亿元，同比增17.59%。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了46家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息104条，专利信息321条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

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