华海清科获得发明专利授权：“晶圆清洗装置及包括其的晶圆减薄设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆清洗装置及包括其的晶圆减薄设备”，专利申请号为CN202411849228.8，授权日为2025年8月19日。

专利摘要：本发明提出了晶圆清洗装置及包括其的晶圆减薄设备。所述晶圆清洗装置包括：多个夹持转轮，其用于对待清洗的晶圆进行夹持限位；以及背部清洗滚刷总成，其包括背部清洗滚刷和背部清洗滚刷支架，所述背部清洗滚刷安装在所述背部清洗滚刷支架上，所述背部清洗滚刷支架用于支撑所述背部清洗滚刷并将所述背部清洗滚刷与所述晶圆的背部贴合，其中，所述背部清洗滚刷为经过晶圆圆心的分段式滚刷且由独立的第一滚刷半部和第二滚刷半部组成，在进行晶圆背部清洗时，所述第一滚刷半部和所述第二滚刷半部旋转方向相反。本发明适用于划切工艺后的晶圆背部清洗，能够实现对晶圆背部及清洗装置自身的清洗，减小了清洗装置自身对晶圆的损伤。

今年以来华海清科新获得专利授权60个，较去年同期增加了140%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目229次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息707条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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