华海清科获得发明专利授权：“一种晶圆抛光方法、抛光装置和处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆抛光方法、抛光装置和处理设备”，专利申请号为CN202510662276.4，授权日为2025年8月19日。

专利摘要：本发明提供一种晶圆抛光方法、抛光装置和处理设备，晶圆抛光方法用于包括摩擦系数接近的第一层和第二层的目标层的去除，一次抛光过程包括第一抛光阶段及第二抛光阶段，包括：确定第一时间；确定晶圆在第二抛光阶段的材料去除量和材料去除率；计算第二时间；根据第二时间调整第一时间以获得第三时间；抛光当前晶圆，根据第三时间执行第一抛光阶段，和根据第二时间执行第二抛光阶段，以使得所述第二层达到目标厚度。本发明的抛光方法能提高特定晶圆的化学机械抛光效率和抛光精度。

今年以来华海清科新获得专利授权60个，较去年同期增加了140%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目229次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息707条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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