华海清科获得发明专利授权：“一种晶圆后处理装置、背面擦洗设备、方法和处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆后处理装置、背面擦洗设备、方法和处理设备”，专利申请号为CN202510647400.X，授权日为2025年8月19日。

专利摘要：本发明提供一种晶圆后处理装置、背面擦洗设备、方法和处理设备，晶圆后处理装置包括：擦洗组件、支撑组件和夹持组件；擦洗组件包括擦洗臂、擦洗头和擦洗垫，擦洗垫安装在擦洗头上；支撑组件包括支撑臂和支撑头，支撑头的表面上分布有多个支撑流体喷孔；处理晶圆时，夹持组件夹持并带动晶圆旋转，晶圆位于擦洗垫和支撑头之间，支撑头的表面与晶圆正面具有间隙，擦洗垫以擦洗压力贴合晶圆背面并旋转，擦洗头和支撑头往复摆动，并在摆动过程中始终保持对位，擦洗流体通道向晶圆背面供应擦洗流体，支撑流体喷孔持续向晶圆正面喷出支撑流体，以使得支撑头表面不与晶圆正面接触；从而不损伤晶圆正面的同时，去除晶圆背面的污染物。

今年以来华海清科新获得专利授权60个，较去年同期增加了140%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目229次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息707条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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