证券之星消息,根据天眼查APP数据显示至纯科技(603690)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种晶圆侦测系统及方法”,专利申请号为CN202310103146.8,授权日为2025年7月11日。
专利摘要:本发明公开了一种晶圆侦测系统,采用光学与波段频谱波的结合建立全方位的光学与毫米波噪声扫描成像;包括:光学侦测单元,设置在相对晶圆移动路径的第一位置,用于对晶圆进行光学成像;波段侦测单元,设置在相对晶圆移动路径的第二位置,用于对晶圆进行波谱成像,侦测分析单元,与所述光学侦测单元和所述波段侦测单元信号连接,用于对光学成像信息和波谱成像信息进行侦测和运算分析,以实现对晶圆的侦测,获得晶圆的实时状态,本发明还提供了一种晶圆侦测方法,本发明提供的一种晶圆侦测系统可有效对晶圆盒的位置、移动速度和移动过程进行实时侦测侦测,同时可对晶圆盒与晶圆片三维位置或动作是否偏移、晶圆片是否发生破损进行实时侦测。
今年以来至纯科技新获得专利授权22个,较去年同期增加了37.5%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了2.67亿元,同比增19.17%。
通过天眼查大数据分析,上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了45家企业,参与招投标项目76次;财产线索方面有商标信息102条,专利信息313条,著作权信息27条;此外企业还拥有行政许可43个。
数据来源:天眼查APP
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