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至纯科技获得实用新型专利授权:“一种从晶舟型转变为非晶舟型的晶圆倒片装置”

来源:证券之星企业动态 2025-07-12 02:38:38
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示至纯科技(603690)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种从晶舟型转变为非晶舟型的晶圆倒片装置”,专利申请号为CN202420623709.6,授权日为2025年6月27日。

专利摘要:本实用新型提供一种从晶舟型转变为非晶舟型的晶圆倒片装置,属于半导体设备技术领域,包括:晶圆支撑机构,具有支撑部;晶舟托架,具有可供支撑部穿过的第一穿孔;用于承载晶圆的晶舟,晶舟搭载在晶舟托架上;升降驱动机构,升降驱动机构的一端连接晶舟托架,以带动晶舟托架上升或下降;晶舟托架具有沿竖直方向上升或下降的第一位置和第二位置,晶舟托架自第一位置下降至第二位置时,晶圆支撑机构的支撑部穿过第一穿孔,且晶舟下降至与晶圆分离,同时晶圆承载在支撑部上。有益效果:本实用新型的晶舟托架具有升降功能,能够将晶舟托架与晶圆分离,从而实现由晶舟型到非晶舟型的转变。

今年以来至纯科技新获得专利授权22个,较去年同期增加了37.5%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了2.67亿元,同比增19.17%。

通过天眼查大数据分析,上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了45家企业,参与招投标项目76次;财产线索方面有商标信息102条,专利信息313条,著作权信息27条;此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源:天眼查APP

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