证券之星消息,根据天眼查APP数据显示芯联集成(688469)新获得一项发明专利授权,专利名为“接触孔制造方法及半导体器件制造方法”,专利申请号为CN202210836621.8,授权日为2025年7月4日。
专利摘要:本发明提供了一种接触孔制造方法及半导体器件制造方法,其在第一导电结构的顶面上覆盖一定厚度的绝缘介质层,并在第一导电结构之间的间隔中填充牺牲层,由此,在刻蚀层间介质层形成开孔作为接触孔的上部开口之后,去除牺牲层来自对准的形成接触孔的下部开口,降低了对接触孔的对位精度的要求,进而降低了接触孔制造的工艺难度。
今年以来芯联集成新获得专利授权31个,较去年同期减少了34.04%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了18.42亿元,同比增20.45%。
通过天眼查大数据分析,芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了18家企业,参与招投标项目1695次;财产线索方面有商标信息16条,专利信息696条,著作权信息3条;此外企业还拥有行政许可40个。
数据来源:天眼查APP
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