永鼎股份获得发明专利授权：“一种外延前晶圆表面处理方法及装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示永鼎股份（600105）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种外延前晶圆表面处理方法及装置”，专利申请号为CN202411468976.1，授权日为2025年6月13日。

专利摘要：本发明公开了一种外延前晶圆表面处理方法及装置，涉及晶圆技术领域。所述方法包括：设定预设入射角度，对目标晶圆进行X射线全反射扫描，探测器捕捉并生成目标晶圆的三维映射光谱；预处理表面检测记录，数据驱动监督训练表面检测模块；接收三维映射光谱，基于表面检测模块进行瑕疵要素识别与整合，确定表面瑕疵分布；协同干法处理方式与湿法处理方式，遍历表面瑕疵分布进行单项瑕疵处理决策，以交叉感染为约束进行全局性寻优，确定表面处理策略；设备组响应所述表面处理策略，对目标晶圆进行预定位与瑕疵处理。解决了现有技术中晶圆表面瑕疵处理效率较低的技术问题，通过优化表面处理策略，达到了提高晶圆表面瑕疵处理效率的技术效果。

今年以来永鼎股份新获得专利授权14个，较去年同期减少了39.13%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.39亿元，同比减1.18%。

数据来源：天眼查APP

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