华海清科获得发明专利授权：“用于金属CMP的晶圆监测方法、CMP设备、计算机存储介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于金属CMP的晶圆监测方法、CMP设备、计算机存储介质”，专利申请号为CN202411898257.3，授权日为2025年5月16日。

专利摘要：本申请实施例提供了一种用于金属CMP的晶圆监测方法、CMP设备、计算机存储介质，该方法包括：在CMP设备对晶圆的金属层进行化学机械抛光的过程中，获取图像采集器采集到的至少一个第一图像，以及在垂直于抛光垫的方向上电涡流传感器与晶圆相对时，电涡流传感器采集到的晶圆信号，其中，CMP设备包括抛光头、抛光垫和供液臂，抛光头用于带动晶圆抵接在抛光垫的抛光面上，供液臂用于向抛光面提供抛光液，图像采集器用于采集抛光垫上靠近抛光头处由抛光液形成的弓波的图像；根据至少一个第一图像中的弓波的宽度，以及晶圆信号，确定晶圆相对于抛光头是否已发生滑片。本方案可以使对晶圆滑片进行监测的监测结果更加准确。

今年以来华海清科新获得专利授权37个，较去年同期增加了146.67%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。

数据来源：天眼查APP

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