中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处理装置”，专利申请号为CN202110251618.5，授权日为2025年5月9日。

专利摘要：本发明公开了一种等离子体处理装置，包含：真空反应腔，真空反应腔内具有下电极组件，真空反应腔腔体开设有排气口以将真空反应腔内部的气体排出；等离子体约束装置，其环绕设置于下电极组件的外侧；气流均衡组件，其设置于等离子体约束装置和排气口之间，气流均衡组件内包含若干个交错排列的隔板，交错排列的隔板之间形成一非直线的气路通道，用于延长真空反应腔内的气体经所述等离子体约束装置到所述排气口的距离。其优点是：该装置通过将等离子体约束装置、气流均衡组件等相结合，通过气流均衡组件增加气体行走路径，减缓了等离子体约束装置和排气口之间的气体流速，有助于调控晶圆刻蚀效果，进一步避免了晶圆表面造成污染。

今年以来中微公司新获得专利授权66个，较去年同期增加了13.79%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

数据来源：天眼查APP

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