中微公司获得发明专利授权：“等离子体处理装置和颗粒污染物的监测方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“等离子体处理装置和颗粒污染物的监测方法”，专利申请号为CN202110609643.6，授权日为2025年5月9日。

专利摘要：一种等离子体处理装置及颗粒污染物的监测方法，其中，所述等离子体处理装置包括：反应腔，其内底部设置基座，所述基座用于承载晶圆，所述反应腔内具有颗粒污染物；第一发射器，用于向所述颗粒污染物处发射信息；第一接收器，用于接收来自于第一发射器在颗粒污染物处的散射信息以确定颗粒污染物的位置信息；第二发射器，根据所述第一接收器确定的颗粒污染物的位置信息，向颗粒污染物的位置处发射信息；第二接收器，用于接收来自于所述第二发射器在颗粒污染物处的散射信息以确定颗粒污染物的大小。所述等离子体处理装置能够对等离子体刻蚀过程中的颗粒污染情况进行实时监测。

今年以来中微公司新获得专利授权66个，较去年同期增加了13.79%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

数据来源：天眼查APP

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