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甬矽电子获得实用新型专利授权:“薄膜沉积装置”

来源:证券之星企业动态 2024-12-24 02:47:02
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示甬矽电子(688362)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“薄膜沉积装置”,专利申请号为CN202421040491.8,授权日为2024年12月24日。

专利摘要:一种薄膜沉积装置,涉及半导体工艺设备技术领域。该薄膜沉积装置包括晶圆平台和加热平台,晶圆平台靠近加热平台的一面设有容置槽,加热平台可拆卸连接于容置槽内,且加热平台与晶圆平台相向设置的一面呈面接触,加热平台用于对晶圆平台加热。该薄膜沉积装置能够在加热装置发生损坏时便于维修,能够降低薄膜沉积装置的维修成本。

今年以来甬矽电子新获得专利授权50个,较去年同期减少了1.96%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了9398.43万元,同比增52.57%。

数据来源:天眼查APP

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