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迈为股份获得发明专利授权:“一种硅片载盘推齐定位装置、载板输送系统及输送方法”

来源:证券之星企业动态 2024-11-26 02:16:36
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示迈为股份(300751)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种硅片载盘推齐定位装置、载板输送系统及输送方法”,专利申请号为CN202010278340.6,授权日为2024年11月22日。

专利摘要:本发明公开了一种硅片载盘推齐定位装置、载板输送系统及输送方法,属于硅片输送设备技术领域。本发明的硅片载盘推齐定位装置,其载板推齐单元包括输送轨和升降机构,输送轨上设置有阻挡机构和载板推齐机构;载板推齐机构包括第一驱动件和第一推齐件;载盘定位单元包括载盘推齐机构和载盘定位机构,载盘推齐机构包括第二驱动件和第二推齐件。载板推齐机构用于推齐载板;第二推齐件用于推齐载盘;载盘定位机构调整载盘位置和角度,使载盘能够准确定位在上料位,方便于将硅片放入相应的载盘,且能有效地防止硅片的边沿与载盘发生接触和磕碰而损坏。本发明的载板输送系统及输送方法,上料效率和输送效率高,所输送的硅片不易发生损坏。

今年以来迈为股份新获得专利授权88个,较去年同期增加了18.92%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了4.19亿元,同比增47.24%。

数据来源:天眼查APP

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