芯源微获得实用新型专利授权：“一种涂胶显影设备”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种涂胶显影设备”，专利申请号为CN202323670306.1，授权日为2024年11月26日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体制造设备领域，提供了一种涂胶显影设备，所述涂胶显影设备包括：片盒用于存储晶圆；穿墙式载片单元包括底板和设置在底板上的载片单元，载片单元被配置于同时承载多个晶圆；晶圆机械手包括竖直设置的多个晶圆手指，每个晶圆手指用于承载一个晶圆；层间机械手被配置于能够对穿墙单元组或载片单元逐片取放晶圆；穿墙单元组设置于层间机械手一侧；工艺模块用于对晶圆进行工艺处理，本实用新型设置了能够一次性取放所有晶圆的晶圆机械手，同时穿墙式载片单元可以将取出的所有晶圆在晶圆机械手和层间机械手之间进行移动，向后传递，省去了原有结构中晶圆逐片移动所需的时间。

今年以来芯源微新获得专利授权32个，较去年同期减少了13.51%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.17亿元，同比增52%。