晶合集成获得发明专利授权：“监控波像差的方法”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项发明专利授权，专利名为“监控波像差的方法”，专利申请号为CN202410806461.1，授权日为2024年8月30日。

专利摘要：本发明提供了一种监控波像差的方法，通过收集测试掩膜对应的曝光后的CD值及CD偏差来获得波像差补偿值，并将获得的波像差补偿值反馈给成像系统进行修正，而采用的测试掩膜包括多个掩膜图形，每个掩膜图形包括多个掩膜子图形，每个掩膜子图形包括多个横向图形和多个纵向图形，多个横向图形和多个纵向图形均呈环状阵列分布。由于每个掩膜子图形中的多个横向图形和多个纵向图形均呈环状阵列分布，因此本发明能从多个角度监控波像差差异，并反馈给成像系统进行修正，可以获得理想的波前成像。

今年以来晶合集成新获得专利授权216个，较去年同期增加了64.89%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6.14亿元，同比增22.27%。