江化微获得实用新型专利授权：“一种汽化蚀刻装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示江化微（603078）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种汽化蚀刻装置”，专利申请号为CN202322653841.X，授权日为2024年5月17日。

专利摘要：本实用新型公开了一种汽化蚀刻装置，包括操作箱体、蚀刻液储槽，还包括雾化槽，雾化槽内设有多组锥形雾化结构，雾化槽底部设有供气管，锥形雾化结构包括锥形喷管、锥形罩，供气管与锥形喷管底部相连通，锥形罩罩设在锥形喷管上，锥形罩与锥形喷管之间的圆锥侧壁表面形成供液间隙，锥形罩上端设有与锥形喷管上端相对应的开口；雾化槽上端呈锥形，雾化槽顶部连接设有雾化出口管；利用气体穿过锥形喷管形成的负压吸引效应，将蚀刻液通过吸液管吸引至开口处，并与高速的气流相撞击从而形成颗粒度均匀细密的汽化的蚀刻液，再通过分支管上的文丘里管吸引并喷射至操作箱体内放置的蚀刻板表面上，从而可以做到将蚀刻液均匀覆盖在蚀刻板上的效果。

今年以来江化微新获得专利授权5个，较去年同期减少了16.67%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了5972.94万元，同比增28.37%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成（网信算备310104345710301240019号），与本站立场无关，如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。