隆基绿能新获得发明专利授权：“热丝化学气相沉积设备、硅基薄膜沉积方法及太阳能电池”

证券之星消息，根据企查查数据显示隆基绿能（601012）新获得一项发明专利授权，专利名为“热丝化学气相沉积设备、硅基薄膜沉积方法及太阳能电池”，专利申请号为CN202210916701.4，授权日为2023年12月1日。

专利摘要：本发明公开一种热丝化学气相沉积设备、硅基薄膜沉积方法及太阳能电池，涉及太阳能电池加工技术领域。以解决PECVD方法存在的能耗高、工艺气体利用率低以及成膜均匀性差的问题，同时还解决卧式HWCVD设备存在的结构复杂以及热丝下垂的问题。上述热丝化学气相沉积设备包括供气装置、真空腔、布气板、绝缘承托件、热丝、接线柱、电源和载板。热丝具有相对的第一端和第二端，第一端和第二端均与水平设置的接线柱电连接。每一接线柱与热丝连接的一端均能够向热丝提供弹性拉力，以使热丝受热形变时拉紧热丝，此时，热丝始终处于水平状态。

今年以来隆基绿能新获得专利授权456个，较去年同期增加了156.18%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了9.76亿元，同比增111.09%。

数据来源：企查查

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