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芯源微(688037)答投资者问

按行业设备厂商公开测算，一台典型的单片湿法清洗机台改用臭氧水方案后，一年可节省约 58.7 万升硫酸，折合运行成本约50万美元。同时含硫废酸属于危废，处理费用按吨计价，且监管趋势持续收紧。硫酸用量越大，这项负担越重。设备厂商公开的对比数据显示，臭氧水方案可将化学品消耗降低约94%，超纯水消耗降低约 70%，因为省去了大量冲洗硫残留的环节。请问作为湿法设备专家，臭氧水是否比传统SPM更加经济、环保？

臭氧水方案在经济性和环保性方面具有一定优势，但清洗方案的选择需要根据具体应用场景、工艺节点、客户需求等方面综合确定。感谢您的关注！

来源：e互动     答复时间：2026/7/9 17:32:00

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