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华海清科(688120)答投资者问

公司cmp设备有涉及到臭氧水设备模块吗？cmp抛光后与臭氧清洗的结合是否为先进制程的趋势？

尊敬的投资者您好！公司部分产品在客户端产线用于晶圆制造时，会涉及少量臭氧水的使用。从目前来看，此工艺为部分特定工艺需求和场景可选用的技术方案，我们也将密切跟踪半导体行业技术演进趋势，持续推进产品技术迭代与品类拓展，致力于为客户提供更先进、更多元化的装备解决方案。感谢您对公司的关注！

来源：e互动     答复时间：2026/7/3 16:25:00

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