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至纯科技(603690)答投资者问

您好，当前洁净室板块在手待执行订单总额多少，其中半导体高端洁净室项目占比多少？目前已稳定合作的头部晶圆、存储厂商客户有哪些？今年新增中标重大项目金额合计多少？

您好，公司主要为客户提供半导体制程设备、高纯工艺系统及支持设备、电子材料及服务等，不涉及洁净室业务。公司高纯工艺系统及支持设备业务是公司的传统优势领域，该业务主要为晶圆制造客户提供高纯特气系统、高纯化学品系统、研磨液供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等关键支持系统的设计、集成与交付服务。高纯工艺系统是保障工艺良率、实现稳定量产的关键基础设施，其重要性相当于晶圆厂的"心血管系统"。近年来该业务收入主要来自于半导体行业，服务的客户包括半导体行业一线制造企业，如中芯国际、华虹公司、上海华力、长江存储、长鑫科技等。

来源：e互动     答复时间：2026/7/2 16:42:00

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