公司于 10月 27日发布 2022年三季报，2022年前三季度公司实现营收30.4亿元，同比增长约 46.8%；归母净利润 7.9亿元，同比增长 46.3%；扣非后净利润 6.4亿元，同比增长 290%。单 Q3是实现营收 10.7亿元，同比增长约 45.9%；归母净利润 3.3亿元，同比增长 124%；扣非后净利润 2.0亿元，同比增长 97%，各项财务指标符合预期。
简评前三季度新订单 56亿元，同比增长 60%，ICP 持续快速增长分业务来看：公司前三季度刻蚀设备收入为 20亿元，同比增长 48%，毛利率达到 46.5%；其中 CCP 前三季度收入 14.5亿元，同比增长 29.3%；ICP收入 5.5亿元，同比增长 139%； MOCVD 设备收入为 3.88亿元，同比增长 28%，毛利率达到 35.8%。前三季度计入非经常经损益的政府补助较去年同期减少约 2.16亿元；同时公司因股权投资（持有中芯国际股票）产生的公允价值变动收益同比减少约 0.5亿元。
研发持续投入，新品类持续顺利拓展公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从 65纳米到 14纳米、7纳米和 5纳米及更先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。公司MOCVD 设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产，公司已成为世界排名前列的氮化镓基 LED 设备制造商。此外，公司的钨填充 CVD 设备目前已通过关键客户的工艺验证进行量产验证。基于金属钨 CVD 设备，公司正进一步开发 CVD 和原子层沉积设备，实现更高深宽比和更小的关键尺寸结构的填充。公司外延设备（EPI）已进入样机的制造和调试阶段，面向 28纳米及以下锗硅外延生长工艺。
盈利预测及投资建议我们预测 2022-24公司营收为 46/64/84亿元，同比增长 49%/38%/31%；
2022-24年公司归母净利润为 11/15/18亿元，同比增长 10%/30%/26%，对应 PE 为 56/44/35倍，维持“买入”评级。
风险提示限售股解禁风险，重点客户资本开支增速趋缓的风险，MOCVD 设备需求不及预期及价格下跌风险。
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