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华海清科:国产CMP设备龙头,正培育耗材及技术服务新增长点

来源:平安证券 作者:付强,徐勇 2022-09-26 00:00:00
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CMP设备本土市场领先,国产化提速带来收入、业绩高增长。华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商,主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务,主要产品为化学机械抛光(CMP)设备。CMP是先进集成电路制造前道工序、先进封装等环节必需的关键制程工艺,其利用化学腐蚀和机械研磨的协同配合,实现晶圆表面多余材料的高效去除和全局纳米级平坦化。CMP设备则是对硅片/晶圆自动化实施CMP工艺的超精密装备。随着超大规模集成电路制造的线宽不断细小化而产生了对平坦化的更高要求和需求,CMP在先进工艺制程中具有不可替代且越来越重要的作用。公司所生产的CMP设备可广泛应用于12英寸和8英寸的集成电路大生产线,技术性能处国内领先水平,本土化服务和性价比优势明显,在国内晶圆制造产线中的应用明显提升,营收和业绩也均保持快速增长。2022年上半年,公司实现收入7.17亿元,同比增长144.27%;实现净利润1.86亿元,同比增长163.26%,高增长在延续。

12英寸CMP设备是公司收入主要支撑,耗材及服务业务成长性开始凸显。CMP设备的主要作用是实现集成电路生产过程中晶圆不同介质层的整体平坦化,目前行业内通常按所应用产线的晶圆尺寸(也代表技术难度)分为12英寸CMP设备和8英寸CMP设备。从公司产品发展路径来看,公司先面市了12英寸的300系列的CMP设备,后推出了8英寸的CMP设备(200系列)。由于市场需求结构以及产品成熟度的关系,12英寸CMP(300系列)一直是公司CMP设备收入的主要来源。2021年,公司CMP设备6.94亿元的销售收入中,12英寸设备实现收入6.82亿元,占公司CMP设备收入的比重达到98.34%。2021年,公司300系列销售主要来自于300X和300Plus,主要客户包括长江存储和华虹。除了设备之外,CMP相关衍生性业务增长快速,耗材和技术服务成为公司新的增长点。2021年,公司耗材和服务业务收入达到1.11亿元,同比增长240.86%,其中晶圆再生服务成为该业务的亮点,月产能达到5万片。

国内CMP设备市场空间广阔,晶圆再生有望成为新增长点。国内晶圆制造产能将显著提升,CMP投资以及应用频次也将增加。随着工艺技术的 进步,CMP设备在整体生产链条中的使用频次将进一步增加,投资规模在半导体设备行业的占比也将逐步提升。根据历史市场规模和晶圆厂产线投资情况测算,CMP设备市场规模约占IC制造设备市场规模的4%左右。流程中的应用次数将逐步增加,以逻辑芯片为例,65nm制程芯片需经历约12道CMP步骤,而7nm制程所需的CMP处理增加为30多道。从全球市场看,行业龙头荏原对这个市场预期较为乐观,该公司预计其收入增速在2022年将达到38%;从国内市场上看,中芯、华虹等主要晶圆代工厂及士兰微、华润微、闻泰、长江存储等IDM厂商积极扩产,公司的中标情况也比较乐观。此外,配套材料和技术服务的较快增长有望成为公司业绩新引擎。这类业务相比于CMP设备,资产更轻,毛利率相对CMP设备较高,此类业务的拓展对公司业绩的进一步提升非常有好处。2021年,公司配套材料及技术服务业务毛利率达到56.92%,其中技术服务毛利率更是高达63.87%。除了维保等常规服务之外,公司的再生晶圆服务的潜力将逐步释放。

投资建议:公司作为国内半导体设备行业细分领域的龙头之一,在国内产能扩张以及国产替代的大背景下持续受益。公司CMP产品在12英寸市场上保持着较强的竞争力,14nm设备正在客户验证中,后续增长潜力较大。此外,公司的耗材和配套服务业务也伴随着设备销售快速成长起来,其中晶圆再生产能已经开始释放并获得了长期稳定客户。结合行业发展情况以及公司财务报告,我们预计公司2022-2024年EPS分别为3.60元、5.70元和7.76元,对应9月23日收盘价的PE分别为91.1X、57.6X和42.3X。我们持续看好公司所在设备及衍生赛道的发展,首次覆盖,给予“推荐”评级。

风险提示:1)市场竞争风险。半导体设备行业需要长期的研发投入和市场验证,公司所在赛道市场集中度较高,公司同应用材料和日本荏原等龙头还存在差距,如果长时间难以推出与国际厂商相当的产品,可能存在被市场抛弃的风险。2)市场需求波动的风险。公司很大一部分销售为库存式销售,公司按照市场预测生产一些通用模块,如果出现集成电路行业景气度下降、客户需求大幅减弱等情况,公司销售可能不及预期。3)客户集中的风险。由于公司下游主要是晶圆制造厂,资本密集,天然集中,如果公司后续不能持续开拓新客户或对单一客户形成重大依赖,将不利于公司未来持续稳定发展。





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