机械设备行业半导体设备中标专题（2022年5月）：10家晶圆厂开标79台工艺设备，刻蚀国产率维持高位

2022年 5月国内主流晶圆厂共开标 79台工艺设备，上海积塔为扩产主力。我们以长江存储、华力集成、华力微电子、福建晋华、华虹无锡、合肥晶合、上海积塔、中车时代、中芯绍兴、武汉新芯 10家中国大陆主要的 IDM 或代工企业为统计样本，通过中国国际招标网对上述晶圆厂中标情况进行梳理。2022年 5月国内 10家主流晶圆厂共开标 79台工艺设备，主要来自上海积塔（54台）、华虹无锡（12台）、福建晋华（8台）、时代电气（2台）、华力集成（3台）。22年 1-5月合计开标 480台工艺设备，主要来自华虹无锡（280台）、上海积塔（158台）、时代电气（16台）、福建晋华（20台）、华力集成（5台）、华力微电子（1台）。

沉积、前道检测、刻蚀设备为 2022年 5月国内晶圆厂主要开标设备。2022年 5月开标的 79台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为沉积设备（28台）、前道检测设备（14台）、刻蚀设备（13台）、炉管设备（5台）、抛光设备（5台）、光刻机（4台）、清洗设备（3台）、涂胶显影机（3台）、干法去胶机（3台）、离子注入机（1台）。2022年 1-5月开标的 480台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为炉管设备（117台）、沉积设备（89台）、刻蚀设备（74台）、前道检测设备（62台）、后道测试设备（35台）、抛光设备（20台）、清洗设备（20台）、离子注入机（19台）、涂胶显影设备（17台）、干法去胶设备（17台）、光刻机（10台）。

受国内刻蚀、干法去胶、涂胶显影等设备厂家拉动，中标国产率持续提升。2022年 5月中国大陆设备中标数量为 47台（包含翻新、二手及外贸业务的厂家），国产率达 59.5%。2022年 1-5月开标的 480台设备中，源自中国大陆厂家制造的设备共计 144台，占比达 30.0%。分晶圆厂看，2022年 1-5月，上海积塔设备国产率超 50%；分设备看，2022年 1-5月国产率较高的环节主要为干法去胶设备（国产率 76%）、刻蚀设备（49%）、抛光设备（45%）、清洗设备（40%）、离子注入机（37%）、涂胶显影设备（35%）。聚焦 5月份国内中标厂商，北方华创（中标 10台）、拓荆科技（11台）、华海清科（5台）、江苏旭宇腾（4台）、上海微电子（4台）排名靠前，持续体现国内厂家在刻蚀、清洗、干法去胶、涂胶显影等设备环节的强势地位。

投资建议：重点关注国内半导体设备龙头北方华创（002371）；高端刻蚀设备龙头中微公司（688012）；持续突破高端后道测试机的长川科技（300604）、华峰测控（688200）；涂胶显影与单片清洗不断突破前道环节的国内半导体设备小巨人芯源微（688037）；半导体薄膜沉积龙头拓荆科技（688072）；国产清洗设备领军企业盛美上海（688082）、至纯科技（603690）；离子注入机领先企业万业企业（600641）；半导体环保设备领先企业盛剑环境（603324）等。

风险提示：晶圆厂扩产不及预期、设备公司研发不及预期、中美贸易摩擦风险。

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